ТЯНГИНСКИЙ АЛЕКСАНДР ЮРЬЕВИЧ

  > иа i .: . - :.:: с. сияя биби нот-„-;ñ;1 БА Oll . Е ИЗОБРЕТЕНИЯ С©ез Соеетекнх Со ниалясти наса Реслубеа (11) 571939 К А®УОИЗОМУ СВИ ВТВЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт, саид ву(51) М У 2 Н 05 К 3/00 "С 23F 1/00 / (Я2} Заявлеио 2З.Д3. 6 (ЯЦ,ЙЙ36031И1 с присоединением заявки 34 ГкрдарстаееФ юптет Верта Мюнетра ВЮ В 49NN хзаар1тВММВ в еткритхй (ЯЗ) приоритет. (43) Опублико...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при плазменной обработке полупроводниковых и диэлектрических подложек (П). Цель изобретения - повышение выхода годных изделий путем снижения температуры П при обработке. Для этого формирование прогиба охлаждаемого подложкодержателя осуществляют после размещения и закрепления на нем П в процессе бомбардировки их пот...