Способ определения степени амортизации кристаллических материалов

Способ определения степени амортизации кристаллических материалов

Реферат

 

1. Способ определения степени аморфизации кристаллических материалов, например полупроводниковых, происходящей при облучении их ускоренными ионами, по разности оптических величин, измеренных для облученного и необлученного образцов материала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, образцы перед облучением легируют акцепторной примесью с концентрацией носителей заряда от величины, достаточной для компенсации доноров, образующихся при облучении, до величины, определяемой предельной растворимостью акцепторной примеси, а в качестве оптических величин измеряют на длине волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения измеряемого образца, арктангенс отношения амплитуд комплексных коэффициентов отражения Френеля для компонент электрического вектора световой волны, параллельных и перпендикулярных плоскости падения света.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что образцы кремния легируют до концентрации носителей заряда от 10¹² до 10²¹ см^-3.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что образцы германия легируют до концентрации носителей заряда от 10¹¹ до 10²¹ см^-3.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что образцы антимонида индия легируют до концентрации носителей заряда от 10¹² до 6 10²¹ см^-3.