Способ активировки сплавных вторично-электронных эмиттеров на основе меди

Способ активировки сплавных вторично-электронных эмиттеров на основе меди

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11 61 1263 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) За я влек о 24,05,76 (21) 2364086/1 8-2 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано16.06,78. Бюллетень №22 (45) Дата опубликования описания 12.05.78 (51) М. Кл

Н 01 Ю 39/00

Гюсударствеииый квинтет

Сювютв Мииистрюв СССР юю делам изеврвтеиий

N юткрытий (53) УДК 621.363. ,292,3 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н; В. Дунаевская, Г. Б. Стучинский, И. П. Масленков и М. Q. Подокснна (71) Заявитель (54) СПОСОБ АКТИВИРОВКИ СПЛАВНЫХ

ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТ РОНН ЫХ ЭМИТТЕ РОВ

HA ОСНОВЕ МЕДИ

Изобретение относится к области электрон-. його приборостроения, в частности.к технологии изготовления элементов фотоэлектронных приборов.

Известен способ активировки сплавных Б вторичнс -электронных эмиттеров на основе меди в фотоэлектронных умножителях (ôÝÓ), осуществляемый следующим образом, Эмиттеры обезгаживаются прогревом до

-Ь достижения вакуума 10 мм рт,ст., затем их окисляют при давлении 0,2-0,3 мм.рт.ст, о и температуре 500-550 С. После остывания эмиттеры монтируют в оболочку ФЗУ и,подвергают дополнительной активировке, заключающейся в окислении тлеющим разря дом в атмосфере кислорода при давлении

0 S мм.рт.ст, и комнатной температу-. ре 111 .

Известен способ актттвировки сплавных вто рично-электронных эмиттеров на основе меди для фотоэлектронных приборов, состоящий из предварительной обработки эмиттеров, включающий прогрев эмиттеров в отдельном вакуумном объеме и дополнительную обработку смонтированных . эмиттеров, включающую прогрев в оболочке прибора 2 .

Согласно этому способу на стадии предварительной обработки эмиттеры прогревао ют при температуре 480-520 С, ia за-2. тем окнсляют при давлении 10 -10 мм. рт.ст. На стадии дополнительной обработки смонтированные эмиттеры прогревают при о температуре 480-520 .С и окисляют их в хеченин 20-30 мин, после чего распыляют аелочной металл.

Этот способ за счет глубокого окисления приводит к образованию на поверхности эмиттеров диэлектрических пленок, создающих нестабильность анодного тока эмиттеров и ухудшающих световую характеристику прибора в целом.

Бель изобретения - повышение стабиль ности анодного токе, улучшение световой характеристики и сокращение времени вхождения прибора s режим.

Бель достигается тем, что по предлагаемому способу после прогрева в отдельном . вакуумном объеме проводят распыление

611263

2, Технологическая карта "Обработка динодов умножителя" ОРО 733837, 1969.

Составитель Ю. Кутенин

Редактор И. Шубина Техреп Н, Бабрука

Корректор В, Сердюк

Заказ 3164/42 Тираж 960 Подписное

ЦНИИПИ. Государственного комитете Совета Министров СССР

IIo делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 щелочного металла, а окисление в приборе осуществляют в течении 5-10 мин.

Пример . На стадии предварительной обработки эмиттеры из сплавов не основе меди прггревект без окисления прн 5 температуре 450-520 С ао вакуума.

2.10 -1.10 мм опт. ст., снижают температуру до 200-280 С и распыляют щелочной металл, Затем смонтированные в оболочку эмито теры нагревают до 450-520 С, выдерживая

-b при этой температуре до давления 2-5 10 мм рт.ст, в течение 5-3.0 мин.

Далее проводят окисление эмиттеров при давлении 10" -10 мм рт.ст. в течение 5-10 мин.

При окислении менее 5 мин не удается достичь требуемого коэффициента вторичноэлектронной эмиссии, а при окислении более

10 мин снижается стабильность анодного 20 тока.

Затем откачивают кислород, нагревают о эмиттеры до 450-52 0 С и выдерживают при этой температуре 1-1,5 ч после чего прибор охлаждеют. и изготовляют фотокатод, 2s

Предлагаемый способ позволяет улучшить стабильность анодного тока в 2-10 раз, улуч шить линейность световой характеристики в

4-8 раз, и уменьшить время воздействия в режим в 2-3 раза.

Формула изобретения

Способ ективировки сплавных вторичноэлектронных эмиттеров на основе меди для фотоэлектронных приборов, включающий прогрев эмиттера в отдельном вакуумном объеме, и прогрев и окисление эмиттеров в оболочке прибора, о т л и ч а ю щ и й— с s тTеeмM,, ч тTо, с целью повышения стабильности анодного тока, улучшения световой характеристики и сокращения времени вхождения прибора в режим, после прогрева в отдельном вакуумном объеме проводят распыление щелочного металла,. а окисление в приборе осуществляют в течение 5-10 ми.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Соболева Н, А., Меламид А. Е. Фотоэлектронные приборы, М., Высшая школа, 1974, с. 216-219.