Рентгеновская трубка
Патент 621038
Авторы
Рентгеновская трубка
Иллюстрации
Реферат
Ссчоз Советских
Сстцмапистмческм
Республик (! p,621038
К АВТОРСКОМУ СВИДИТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил.ву (22) Заявлено 11.04.77 (2!) 2475485!18-25 с прнсоедннениеьт заявки Ит (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25 08,78, Бюллетень №31 (45) Дата опубликования описания;14,0778
2 (о!) М, Кл
Н 91 7 35/10
6 01 и 2320
1 ссударстаанный камнтет .Соввта Мнннстроа СССР аа делам нзабретвннй н еткрытнй.(53) УДК
621.386 2:548 .73 (088,8) (72) Авторы изобретений
С. А. Ыабоян, Г. Г. Демирчян и П. А. Безиргэняи (7!) Заявитель (54) РЕНТГЕНОВСКАЯ ТРУБКА
Изобретение относится к рентгеновским трубкам дня рентгеноструктурного анализа.
Известны источники рентгеновского излучения дпя топографии монокристаллов, содержащие катод, прострельный анод и средства развертки электронного пучка по поверхности прострельного анода (1!.
Такие источники позволяют создать прост. ранствеиное поле излучения, что обеспечивает получение топограммы монокристаллов без перемещения элементов устройства, Недостатком известных устройств является невысокая интенсивность рентгеновского излу а:ния, связанная с условиями охлаждения анода, что при дифрактометрических измерениях, в которых интенсивность дифрагированного
-б "В пучка в 10 — 10 раз меньше интенсивности первичного пучка, практически исключает воэможность использования такого источника.
Одним иэ широко используемых методов увеличения мощности рентгеновских трубок является использование вращающегося анода.
Такие трубки позволяют получить интенсивности, приемлемые дпя проведения экспрессных тотюграфических исследований, Однако в силу кон струкции работающего "на, отражение" анода и условий вывода рентгеновского излучении
Нельзя полуатть пространственное попе излучения, что вызывает необходимость перемещений элементов топографического устройства.
Наиболее близким техническим решением является рентгеновская трубка, содержащая в»куумный корпус, окно для вывода рентгеновского излучения, катод, вращающийся прострель1g ный анод, излучающая поверхность которого образована слоем тугоплавкого металла, нанесенного на прозрачную для рентгеновского из. лучения пластину (2!.
Однако эта трубка не позволяет создать та пространственное поле излучения, а кроме того, мощность ее ограничена по сравнению q обычными трубками с вращающимся анодом иэ-за необходимости использования очень тонких (10 — 40 мкм) слоев тугоплавкого матери20 ала.
Целью изобретения является увеличение интенсивности излучения.
Это достигается тем, что трубка с держит средства развертки электронного пучка йо из.
25 лучающей поверхности вращающегося щнода, 4 дпя подачи отклоняющего напряжения, При дв.. аметре анода 10 см мохспо использовать поле излучения величиной порядка 3,5 х 2,5 см, ч»о вполне достаточнО дпя контроля крисгаллов, используемых в полупроводниковой. »ехиоло1 ил.
Следует такжа замети»ь, что трубка можа».
5ыть снабжена вторым катодом и средствами дпя создания. пространственного поля, т. к. »ел лавой режим такой трубки позволяет использо
sara два. поля излучения прн интенсивностях, достаточных дпя проведения топографических исследований, Рентгеновская трубка, содержащая вакуум иый корпус с окном дпя вывода ренттеновского изпучания, катод, вращавщдйся прострель иьй анод, излучающая поверхность которого образована споем. туголлавкого материала, sa. несеяного на прозрачную для рентгеновского излучения пластину, о т л и ч а в щ а я с я там, что,. с целью увеличения интенсивности из, лучения, трубка содержит средства вазверткя электронного пучка по изпучаащей поверхности вращающегося анода.
ß1038
За счет экого дрстигаетс» возможность создания пространственного. поля излучения, с одной стороны, и улучшиотся условия охлади дания трубки за счет. возможности выбора па. раметров развертки дпя данной скорости анода таким обрйэомэ что пучок будет попадать в одну и ту жа точку анода, не за один оборот анода, как в устройства Щ, или на за один цикл сканирования; как в устройстве 11), i за гораздо .больший .период времени.
На фиг. 1 изображена лредпагаемая рентгеновская трубка; на фиг. 2 — разрез А- А фиг. 1.
Рентгеновская трубка содержит вакуум. ный корпус 1 с окном 2 дпя выпуска ренттеновских.лучай, катод.З, вращаиицийся анод 4, и излучающая поверхность которого образована споем тугоплавкого материала 5, нанесенного ив пластину 6 из. прозрачного дпя рентгеновского излучения материала, например берашия яли графита Трубка содержит средства дпя 29 развертки электронного пужа, :состоящие. из вертикальных 7 и горизонтальных 8 откловю щих пластин, соединенных со средствами дпя подачи отклоняющего напряжения (не GoK83aиы). Поскольку дпя ренттеновской топографии 2$ необходимы параллельно направленные пучки, к окну трубки может бить подсоединен кол,лиматор, например опиаипюго в Щ типа (не показан) .
Конфигурация пространственного поля 9 зо (см. фнг. 2) может задаваться с помощью средств
Фо рмул а.изо бре те иця. Источники информации, принятые во «uuauume при экспертизе:
1. Патент США и 38338!О, 250273, 1974, 2. Патент США У 3842305, 313-60, 1974, Охтааитева К Коиоиоа
Тахред А.Алатыри Заказ 4670(49 краж 969 Пэдиисиоа
ЦНИИПИ Государстаеиного комитета Совета Министров СССУ
so девам изобретеквй и открытий
1l3035, Москва, Ж-3$, Раушскаа иаб., д. 4/Я
Фивнал ППБ ",Патент" . г, Ужтород, ув. Проектиаи, 4