Матрица для изготовления одноступенчатых фазовых оптических элементов

Патент 626967

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

1 ЕСЕС((е) 1с) ц, <3 фЩфр -.

Союз Советских () 626967

Социалистически)с

Ре>)тублин

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЮП:ЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. Свид-ву (22) Заявлено28.03.77 (21) 2465961/23-05 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.10.78.Б)оллетень № 37 (45) Дата опубликования описания 12.09.1З. (51) М. Кл.

В 29 D 11/00

B 29 С 1/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по дела)и изобретений и открытий (53) УДК 678. . 057 (088. 8) Ю. A. Харитонов, В. А, Шишкина, А. И. Песков и В. Г. Федосеев (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) МАТРИ11А 1ЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ О31НОСТУПЕНЧАТЫХ

ФАЗОВЫХ ОПТИЧЕСKMХ ЭЛЕМЕНТОВ.2

Иапо)3(. 5<:if(p .»! СК; ГС, ЬНЬ!. М 51 ЬТИ;!. И) ЯТОp0I3,!. I rl си< j c)! Об р<)б» Гк)3 Оптически х <. Иl If <1 ,:1 0 i> .

Изнс.: ны металлические матрицы для из.. !! ii5i (I ITiiiIcñKèõ изде,!ий (1) . <>,> ьсс !! <1 я 1<) Гр!(па имеет недостяточ н к)

; н»;)мс рносTb высоты рельефного рисунка !

П! (. C ПО!3СР. НОСТИ, ЧТО ОТРИЦЯТЕЛЬНО СКЯЗЫе;IСГсil Iid xараKтерll<. TI1Kях мультипликатороВ с Высс)той рельсфного рисунка, соизх!еримс;й с;3. ill!i(.I! !(Олны опти !еского )иапазоня.

1(С. l! IIB(iIIJICftHC <)Я(3 НО

Х!СРНОСти PC I!>C(i)!Ii>!X Р) С IIKOf3 ПО ПОВСPXII()i

Ги 00РЯЗ!i -1 !!1, i IIXÃÎò(!В. IВHН!! ()IIIII. . ii! !вЂ” з»1)blx )им.)ЬГ! i. )1KB i (! f!Of> Г13 Ti м <.

1) н \ i < >к !31>lc<)3 Ой в HP(;lc. их 01 0,3H< i il .!

KÎÃ1Ül>З! Х ТГ!!111 ВО,:11! iIЗЛ < ЧС H!151 ОIIТ11ЧСCK»i 0

ДИ Я !!ЯЗОН Я.

Эт(3 псль лостi.! ается применением мcT;!л.)изи рОВя н НОГО фотон! яо. IОН а В качестве xl;iTРИЦЫ,1ЛЯ ИЗГ010B1CEIII53 OJI!OCT>< fICHМСHTOB ИЗ ПО, f!IXIPPHI>IX материалов.

На фпг. 1 и.<»с)ражеi! мсталлизированпый фотон!Я»л»н, на фиг. 2 вЂ” фото!и;)блон с

На !i(i C H Ill>l >1 il B !! <>I 0 С 10(>ХI IIA I I! XIPРЯ IICTCK

;5!. !;i!)I1 . l;)ci!i:: и;, н;1 фпг. 3 i. 3;(схп!с. .) )(Tа;1,1!13ll рО В и I I Н ЬI II ()!)() 0111;iîë 0li C 0;I P р>кп . CT(K, f Ef H It VK) I! <) 31(>)K K X 1 С II<)H(>ССНН ы м

Н<1 11<>C P!!(. Мlil,ОХ; ), Л, 151 С»З;3;1 нi!51 1<Х)TÎP»ГО !!Спол ьзов а и; p0xi.

ИзГoT()13.1Pflilc ф K)01301<) w3TIHTIII!,зпк(lто()а осх)цеств.15!K)T пузсм заливки и»верхи» Tll мсталлизированного фотогиаолона полимером 3

Ни КОТОРЫ!1 1! а К. а;!!>1 В Я ЮТ i T<. 1 .15П1! !3 Ii ) ll. 1<1(! НН3 "3. 1 1 О,, 1(по, l l . 3!Pp I I:! i -тинм с 110. !Нме1зн!.1» С.l<)ех!»Г 1сл)31<)т () г фо!()шаблона.

1 IICX н»к <)1)(3 !<) и);1<). 1<»1(1 <)() I Bi TC . )3>> с I

ГОТОВ,Т5)С <1<3,!Х 31>.:!>Гi! Ii. IIIKBT()PX, ВЬIСОТ;1 Р(>, 1 ье(ра pl!i <),i!<;i с»(, )п)ля(>т 1). > хп(;!. >(с !ч!.)ли

ЗП РОВ<11! 11Х I» ПО!3(i! П»(Tl> фОТ ОП!Я (). 1() ii<1 ii(3)<., (20 ! i !!i?? ???? ?? !1(. )!><), I I!: .",> i )1oк13ь!В<) !От !3 !1т11(1 IГ

»IIIII>IXl с ii!i. 3!. <., "НГ1янн 10 НЗЯСTIIHX -1 и<) 3B(. i)! и!OT з):<): l<>ll »ораООТк(. 11»(Х li. OTдслси liя ф<; Гi)i! I H<) »I „i i!1 cт(>I;,.1 ÿ Il l!0é и. Iа! с тiiны с НО, I, l!м Ором (з)()О H!i.iикат»р f ti> ч Я)т pcë!><. фи ьlй рисх нОк, Об1)Ятнь)Й

Фор.>гу.га иаоб)р(. T(. íII»

2 1 (риг 7 ииг. а

4!)иг. $

Составитель Б. Зибс>ова

Ре;(актор 1. Ушакова Тек ре.(О, 1> ова>! Корректор Л. Ер(п> >соко

Заказ 5541/19 Тираж 810 Г!одвисное

11НИИПИ > ос)дарственного ко»н>с>а (.ов«та Министров (.СС.I о лс.!ам нвобрет(.нив !! открыл нй

1 1 3035, 7(1осква, Ж-35, Раушскнн араб. л. 4 5

Филиал IIIIH «Пнт>нп», . У>!(! ороси ул. I lð» к> нан, I

) рисунку фотошаблона. В результате получа к)T прозрач!Iы!! фазое)ый ре.ть(.фгlь!Й рllс) 1!ок высотой 0,3 мкм с отклонениями 13 прете.-.ак 0,02 мкм по площади 5 к, 50 мм.

Влаголаря применению метал IVI3IIj)UI32IIIного фотошаблона в качестве м IT1)llllû 17!я изготовления олноступш!чатык фазовык опTII I(скик з.!е>мен гов повып!асгся равномерность высоты рс ье(рнык рисунков на поверкности фазовык мультипликаторов в прс.3е,гак IIc ниже 0,05 мкм прп высоте рельефа от О,З го 3 мкм по !пошали матрицы оО X

Х 50 мм, что повьппает то шость работы систем обработки оптическик сигналов, в когорык использук)тся фаз()вые Ib.lüòll!пик;1торы.

1jj)I!31(sleII13e металлизировапного фотошао, гоня Б качес I I3(. матрицы Для Ilзго1013лен ия одноступенчаты., фазо!Зь!к о гтическ!!к .-)7!(вЂ”

31(. Нтов из по, I II.>lc I) III>lx зl а !.сРи а, I()13.

10 1 jC10 (HI!I II IIII(f)Oj)!)I

3I2IIIII(. при эксцср гпзе:

1. Авторскос (:I)II.(ете.гьство О.С Р

¹ )j 1095, кл. G 03 С 7 14, j(j0)8.