Способ изготовления фокусирующего электрода вторично- электронного умножителя
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Союз Советских
Социалистимеских республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1,639048 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено06.07.77 (21)2503444/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.
Н 01 J 43/10
Государственный комитет
Совета Инннотров СССР оо делам нзобретеннй н открытий (43) Опубликовано25.12.78.Бюллетень №47 (53) УДК 537.533. .8 (088.8) (45) Дата опубликования описания 27.12.78
% (72) Авторы изобретения
А. И. Гаприндашвили, В, С. Кортов, А. Н. цаголов и B. Л. Михайлов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОКУСИРУЮЩЕГО ЭЛЕКТРОДА
ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННОГО УМ НОЖИТЕЛЯ
Изобретение относится к электронной технике, в частности, к способу изготовления фокусирующего электрода вторично-электронного умножителя.
Известен способ изготовления фокусирующего электрода в виде кольца, заключающийся в штамповке и химической очистке поверхности (1). Недостатком данного способа является частичная коррозия поверхности электрода и вследствие этого ухудшение параметров прибора в целом.
Известен способ изготовления фокусирую-1О щего электрода вторично-электронного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработкой электрода (2) . В этом способе отштампованный электрод из А1 или А1 — Mg — Ag сплава подвергают обработке в водном раст- 15 воре серной, хромовой или углекислоты, что предотвращает коррозию электрода.
Однако при изготовлении известным способом фокусирующего электрода имеет место увеличение фона вторично-электронного умножителя при его работе в условиях интенсивного освещения, так как кванты света после отражения от поверхности исследуемого объекта или непосредственно от источни2 ка света попадают на фокусирующий электрод из тройного сплава AI — Mg — Ag или из
А1, вызывая фотоэлектронную эмиссию. Высокий фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освешения снижает его качество, в частности, понижается чувствительность (разрешающая способность), что ограничивает область его применения.
Целью изобретения является уменьшение фона вторично-электронног умножителя при его работе в световых потоках.
Это достигается тем, что заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300—
500 С в течение 2 — 3 ч.
В качестве указанного металла может быть применен металл из группы AVII, например W, Мо, Та, а также Си.
Ори.мер. Отштампованную заготовку элек-,. трода из А1 или сплава А1,— Mg — Ag помещают в вакуумную камеру при P = 10 —
10 4 торр, подвергают ее очистке в газовом разряде, затем на заготовку при 10 4—
10 торр напыляют слой металла, например, Си. Заготовку фокусирующего электрода с
639048
Форлула изобретения
Составитель Ю. Кутенин
Редактор Т. Клюкина Техред О. Луговая Корректор П.Макаревич
Заказ 7293/42 Тираж 9!8 Подписное
1!ИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и откр ьп ай
I 1 3035, Москва, Ж-35, Раугнская наб., д. 4/5
Филиал Г!11П «Патент», г. Ужгород, ул lроектная, 4 напыленным слоем металла затем прогревают на воздухе в течение 2 — 3 ч при 300—
500 С.
Обработанный таким образом электрод готов для монтажа в приборе.
Покрытие заготовки можно производить не только напылением вышеперечисленных металлов, но и гальваническим путем.
Как показали прямые измерения фонового тока, при температуре прогрева ниже
300 С или времени прогрева меньше 2 ч не удается получить заметного уменьшения фона. Прогрев при температуре выше 500 С или длительнее 3 ч не приводит к заметному улучшению характеристик и не оправдан технологически. 15
Электроды, изготовленные по приведенному способу, позволили резко уменьшить фон вторично-электронного умножителя при работе в условиях интенсивного освещения. Если ранее серийно выпускаемый вторичноэлектронный умножитель ВЭУ вЂ” IA имел при работе в световом потоке ртутно-кварцевой
° лампы (/, ) 250 нм) фоновый ток 10 в А, то после изготовления электрода по предлагаемому способу фоновый ток прибора уменьшился до 2 ° 10 A.
Вторично-электронный умножитель нри этом сохранил высокий коэффициент усиления (10 ), эффективность счета электронов
50 — 70% и темновой ток до 10 9 А, к тому расширилась область его применения.
1. Способ изготовления фокусируюшего электрода вторично-электрон ного умножителя, заключающийся в штамповке электрода с последующей химической обработкой, отличающийся тем, что, с целью уменьшения фона вторично-электронного умноукителя, заготовку фокусирующего электрода после химической обработки покрывают слоем металла, затем электрод прогревают в воздухе при 300 — 500 С в течение 2 — 3 ч.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве указанного мета,зла применен металл из группы АИI.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, гго в качестве указанного металла применена медь.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. Соболева Н. А. и др. Фотоэлектронные приборы. М., «Наука», 1965, с. 239 — 249.
2. Авторское свидетельство СССР
_#_e 268554, кл. Н 01 J 43/10, 1970.