Способ обработки антимонида индия
Патент 660499
Авторы
Классы МПК
Способ обработки антимонида индия
Реферат
Способ обработки антимонида индия облучением ионами, отличающийся тем, что, с целью обеспечения регулируемого по глубине увеличения скорости электрохимического травления без изменения типа проводимости и уменьшения подвижности носителей заряда, антимонид индия во время облучения подвергают нагреву от 100 до 290oC.