Травитель для полупроводниковых соединений
Реферат
Травитель для полупроводниковых соединений, содержащий трехокись хрома и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности пластин кристаллов и пленок полупроводниковых соединений типа А4В4С6 и А4В6С6, он дополнительно содержит уксусную кислоту и воду при следующем соотношении компонентов, вес.%: Трехокись хрома - 2,5 - 10 Соляная кислота - 2,6 - 18 Уксусная кислота - 1,86 - 12,65 Вода - Остальное