Препаратоводитель для электронного микроскопа

Препаратоводитель для электронного микроскопа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

QllNCAHHE

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик п<)686000 (Б1) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 25.07.77 (21) 2511772/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) Я. Кл2, G 02 В 21/2Б

H О1 137/2Б

Госудорстоеииый комитет ссср оо делам иэеоретеиий и открытий

Опубликовано 15.09.79. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 25.09.79 (53 УДК 535.823 (088.8) А. М. Минцис, Н. А. Галинский, H. И. Филякин, Б. 3. Грушевский, В. Т. Черепин и В. А Смирнов (72) А вторы изобретения

0nbITHo-кОнст<)»KTOncKOO H1)oH313<>.;с f!30 ), )денс! Тр !0 10! О Кра снОГО Знамени 11 11стит\ тсl .!)I. >пол< I nn и». А. А. Богомольца АИ;) краинскои CI 1> (71) Заявитель (54) ПРЕПАРАТОВОДИТЕ,. 1Ь

ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение о: .::: итси к предметным столиl ам для мик >cхопя. я именно к <C " IOA ООЛЯСти на образце и п,c,HO! . ., <)<гьектов полупроводниковой .;р«мь п>ле!!!!0<>ти на прецизионных микро<. <)!и;х в вакууме.

Известен мани<.,лятор лля электронного микроскопа, обес!и)пух взаимно перпендикулярны. . о < в п<>елелах +40 (1}.

Известен также препяратоволитель для сканирующего микроскопа, солержащий предметный столик, механизмы перемещения по осям Х, Y и -шаговые приводы (2).

Наиболее близким к изобретеш:ю по технической су!цности ян.:яется: тройство, содержащее пре.ме1:I»I, I CT<>,!Ик. установленный с возмож.::: тьк> пер=»си.,:шя вдоль трех взаимно пе1:: дикул)! 0HI.!. координатных осей Х,+,Z и:юн>рота вокруг вертикальной оси, Kc! i . 1:1:,«,.-. Изма.!и перемещения 1. повор.<.! !3(.

Однако это устройство имеет нелостаточные точность ориентации и эксплуатационную нал.жность.

Цель)О изобретения является повы1пеHHp точности орпентя!Ннп и эксплуатационной

5 нялежнООTH.

Это л<:стпгается тем, что в преллагаемом препарятоволителе механизм переме!цения влоль ocl Z выполнен в виле С-образного корпуса с закрепленными на нем шаговым приводом, ) становленного вдоль вертикальной осп .:р< лметн< о столика и закрепленного на 0-;Ho ": .<з кареток перемещения по осям

Х, т, «Hi T;» ко-:срого расположен ползун с во"-,»Oæliocòüþ безлюфтового перемещения по р:,".ул!1руемым шариковым опорам влоль

< вертикальной осп предметного столика и имеющий упор, взаимодействующий с конечными " : I»II!)<:.à Tcnnìè шагового привала при этс 1:! 1 Iiс<)тик,lльной Оси прелметного столика,к:стк, кпсплена шестерня, находящаяся в > >с 1,:снип с жестко закрепленным на

2п по.!луне шаговь)м приволом поворота, а ось

П;." .!М! THOL 0 C! 0.1ÈÊÛ СНЯОЖЕНЯ 3 !IОРОМ, ВЗЯHi.<,Ie< !cTâó1o!nIIì при повороте предметного

С.<.л!Н111 на 1Й) с полпружиненным коромыс686000 лом, попеременно замыкающим конечные выключатели привода поворота.

На фиг. 1 показан описываемый препаратоводитель для микроскопа; на фиг. 2 разрез А — А фиг. 3; на фиг. 3 — вид механизма подъема и поворота сверху.

Препаратоводитель представляет собой каркас, состоящий из нижней 1 и верхней 2 плит, соединенных между собой колонками.

На верхней плите 2 смонтирована на шариковых опорах каретка 3 перемещения по оси Х, а на ней таким же образом смонтирована каретка 4 перемещения вдоль оси Y . Каретки перемешаются по осям Х и Y посредством приводов 5 и 6, связанных с ними реечными передачами 7 и 8. На каретке 4 установлены механизмы 9 подъема и поворота, на выходной оси 10 последнего укреплен предметный столик 11 (фиг. 1).

Механизм 9 подъема и поворота состоит из С-образного корпуса 12 (фиг. 2), в котором находится ползун 13, перемещаемый совместно с осью 10 вдоль корпуса 12. На оси 10 жестко укреплена шестерня 14, связанная с редуктором поворота 15. Упор 16, взаимодействующий с конечными выключателями 17, 18 привода подъема 19, служит для ограничения перемешения ползуна 13 с осью 10 вдоль оси 2: . В верхней части ползуна 13 смонтировано подпружиненное коромысло 20, укрепленное на оси 21, взаимодействуюшее при повороте с упором 22 оси 10 и конечными выключателями 23, 24 привода поворота 25 (фиг. 2, 3).

Препаратоводитель устанавливается в ионном микроанализаторе при разряжении порядка 1 10 6 мм рт. ст. Устройством управляют с дистанционного пульта управления, на котором задают необходимый режим работы, скорость перемещения образца, зону сканирования и величину перемещения в этой зоне.

При включении привода механизма подьема 19 перемешается ползун 13 с осью 10, жестко закрепленной с предметным столиком 11. Для вращения столика включают привод механизма поворота 25, который вращает шестерню 14, насаженную на ось 10.

Вращение оси со столиком производится в обе стороны на 180 . Для устранения мертвой зоны при повороте на 180 служит подпружиненное коромысло 20.

Формула изобретения

Препаратоводитель для электронного микроскопа, содержащий предметный столик, установленный с возможностью перемеше1о ния вдоль трех взаимно перпендикулярных координатных осей Х,1,2 и поворота вокруг вертикальной оси Е, каретки с механизмами перемещения и повдрота, отличающийся тем, что, с целью повышения точности ориентации и эксплуатационной надежности, механизм перемещения вдоль оси Z выполнен в виде С-образного корпуса с закрепленным на нем шаговым приводом, установленного вдоль вертикальной оси предметного столика и закрепленного на одной из кареток пере о мешения по осям Х, У, внутри которого расположен ползун с возможностью безлюфтового перемещения по регулируемым шариковым опорам вдоль вертикальной оси предметного столика и имеюший упор, взимодействующий с конечными выключателями шагового привода, при этом на вертикальной оси предметного столика жестко укреплена шестерня, находящаяся в зацеплении с жестко закрепленным на ползуне шаговым призо водом поворота, а ось предметного столика снабжена упором, взаимодействуюшим при повороте предметного столика на 180 с подпружиненным коромыслом, попеременно замыкаюшим конечные выключатели привода поворота.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Универсальный столик высокого разрешения. Приборы для научных исследований. 1968, № 7.

40 2. П репа ратоводитель для сканирующего микроскопа, проспект фирмы «Opton»,ÔÐÃ, 1974, каталог ¹ F 41-820Е.

3. Патент ФРГ № 1789019, кл. 21 G 37/10, опубли к. 1972 (и рототи и ) .

686000 шпиг 5

Составитель В. Белоусов

Редактор С. Хейфиц Техред О. Луговая Корректор Н. Стец

Заказ 5455/46 Тираж 588 Подписное

ЦН И И П И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал П П П «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4