Растровый электронный микроскоп
Патент 693483
Авторы
ИВАННИКОВ ВАЛЕРИЙ ПАВЛОВИЧ
ЛУКЬЯНОВ АЛЬБЕРТ ЕВДОКИМОВИЧ
НОВОЖИЛОВ ВАСИЛИЙ ПАВЛОВИЧ
СПИВАК ГРИГОРИЙ ВЕНЬЯМИНОВИЧ
Классы МПК
H01J37/26 - электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов
Растровый электронный микроскоп
Иллюстрации
Показать все
Реферат