Способ очистки поверхности кремниевых пластин
Патент 693491
Авторы
- КОВЧАВЦЕВ АНАТОЛИЙ ПЕТРОВИЧ
- ПЧЕЛЯКОВ ОЛЕГ ПЕТРОВИЧ
- СОКОЛОВ РОБЕРТ АЛЕКСАНДРОВИЧ
- СТЕНИН СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ
- ФРАНЦУЗОВ АНАТОЛИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ
Классы МПК
