Способ получения многослойных интерференционных зеркал

Способ получения многослойных интерференционных зеркал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Свциалистнческии

Республмн (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 05,1078 (21) 2674989/29-33 (51)М. КЛ.

С 03 С 17/00 с присоединением заявки ИВ (23) Приоритет

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

Опубликовано 2506.80,Бюллетень М 23

Дата опубликования описания 280680 (53) УДК 666 ° 1. .056(088.8) (72) Авторы изобретения

И.С. Гайнутдннов, В.Н. Глебов и Е.А. Несмелов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ЗЕРКйЛ

Изобретение относится к технологии нанесения оптических многослой- „ ных интерференционных покрытий и может быть использовано для изготовления интерференционных зеркал с заданной фазовой анизотропией.

Последние находят применение в кольцевых оптических квантовых генераторах. 10

Фазовая аниэотропия определяет поляризационные свойства многослойных интерференционных зеркал и характеризуется;фазовым углом между, р- и

S-компонентами отраженного поляризованного излучения при наклонном па" денни света.

Известен способ изготовления оптических многослойных интерференционных зеркал путем вакуумного испаре- 20 ния или катодного распыления, заключающийся в нанесении на подложку чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления, при этом контроль толщины отдельных слоев осу-25 ществляют с помощью фотометра или кварцевых микровесов(0, Однако при изготовлении этим способом интерференционных зеркал с заданной фазовой анизотропией точность 30 получения заданного фазового угла между р- и S-компонентами отраженного излучения недостаточна (разброс значений фазового угла достигает

+10о), и соответственно процент выхода зеркал с. заданной фазовой анизотропией, например, с точностью +10 очень мал (1-5%). Это определяется ошибками распространенных средств контроля толщины отдельных слоев (например, с помощью фотометра или кварцевых микровесов) и неоднородностью слоев по толщине, обусловленной несовершенствами механизмов планетарного вращения подложек и нестабиз1ьностью пррстранственного распредеЛения пара испаряемого вещества.

Целью изобретения является повышение точности заданного фазового угла между р- и S-компонентами отраженного излучения.

Это достигается тем, что в известном способе получения многослойных интерференционных зеркал путем нанесения на подложку преимущественно вакуумным испарением чередующихся слоеа c высоким и низким показателями преломления, контроля толщины каждого слоя и последующего измерения фа742400

Формула изобретения

Составитель Г. Буровцева

Редактор Е. Полионова Техред И.Асталош Корректор C. Шекмар

Тираж 528 Подписíое

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Заказ 3394/24

Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 эового угла, перед измерением фазового угла осуществляют травление наружного слоя, который наносят с толщиной, более расчетной на 1-1ОЪ, причем травление и измерение фазового угла ведут многократно.

Ниже приведены примеры изготовления интерференционных зеркал.

Изготавливают две партии зеркал системы Д(ВН)"" 32Н, где слои В выполнены иэ двуокиси циркоиия (3rQy), 1 слои Н вЂ” иэ двуокиси кремния (GXGg)., путем нанесения в вакууме с помощью электронно-лучевого испарителя на установке типа A700 Q Фирмы ЬеуЬоЫНегаеиэ, укомплектованной механизмом двойного планетарного вращения подложек. Контроль толщины слоев осуществляют с помощью фотометра. В среднем по всем партиям (40 зеркал) выход зеркал с фазовой анизотропией в пределах +1 составил 1Ъ. Э)

При изготовлении другой партии зер кал контроль толщины отдельных слоев выполняют также с помощью фотометра, но нанесение последнего слоя иэ Я1О осуществляют с перепылением на 5Ъ от расчетной толщины. Затем образцы подвергают ионному травлению в режиме высокочастотного распыления в среде аргона со скоростью 0,2-0,5R сек в 2-3 приема (суммарное время травления

3-15 мин) . После каждой операции .травления измеряют фазовый угол на эллипсометре ЛЭФ-2. Выход годных зеркал с фазовой анизотропией в пределах +1 составил 90-95Ъ.

Таким образом, предлагаемый способ получения многослойных интерференционных зеркал позволяет изготавливать зеркала с заданным фазовым углом с точностью +1 и повысить выход годных зеркал, например, с малой фазовой анизотропией (фазовый угол в пределах l ) при угле падения света

45 до 90-95Ъ по сравнению с 1-5Ъ по известному способу.

Способ получения многослойных интерференционных зеркал путем нанесения на подложку преимущественно вакуумным испарением чередующихся слоев с высоким и низким показателями преломления, контроля толщины каждого слоя и последующего измерения фазового угла, отличающийся тем, что, с целью повышения точности заданного фазового угла между р- и

S-компонентами отраженного излучения, перед измерением фазового угла осуществляют травление наружного слоя, который наносят с толщиной, более расчетной на 1-10Ъ, причем травление и измерение фазового угла ведут многократно.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 ° Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия„ Л., Машиностроение, 1973, с, 134-139 (прототип).