Способ создания дрейфового поля в базах фотопреобразователей

Способ создания дрейфового поля в базах фотопреобразователей

Реферат

 

1. Способ создания дрейфового поля в базах фотопреобразователей, включающий введение донорной примеси в базу с тыльной стороны исходной кремниевой пластины n-типа проводимости, отличающийся тем, что, с целью сохранения времени жизни неосновных носителей в базе и сокращения длительности процесса, в качестве донорной примеси используют натрий, который вводят в базе методом ионной имплантации с последующей диффузионной разгонки при температуре 600-700^oС.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что доза ионов натрия составляет 100-200 мкКл/см².