Способ выращивания многослойных структур на основе соединений типа aiiibv

Способ выращивания многослойных структур на основе соединений типа aiiibv

Реферат

Способ выращивания многослойных структур на основе соединений типа A _IIIB_V с использованием химических газотранспортных реакций, включающий загрузку в реактор источника элемента третьей группы, подложек, подачу газовой смеси, содержащей галогенид пятой группы и пары воды, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и улучшения качества структур в источник элемента третьей группы добавляют кремний в количестве, превышающем предел растворимости, а концентрацию паров воды изменяют в интервале 10 - 500 ррт.