Способ обработки кремниевых пластин

Способ обработки кремниевых пластин

Реферат

 

Способ обработки кремниевых пластин, включающий механическую обработку поверхности и термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью улучшения параметров кремния за счет снижения концентрации дефектов, перед отжигом пластины облучают ионами кремния дозой 5 10¹⁴ - 5 10¹⁶ см^-2 и энергией, обеспечивающей выполнение условия: R d, где R - глубина проникновения ионов в пластину.

d - толщина нарушенного механической обработкой приповерхностного слоя пластины.