Способ изготовления микроострий

Способ изготовления микроострий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРО- ОСТРИЙ из металлической проволоки, включающий электрохимическое травление средней части заготовки в Тонком слое электролита и автоматическое прекращение травл^ения при обрыве образующейся "шейки", отличающийся тем, что, с целью уменьщения и регулировки радиуса кривизны поверхностей микроострий и улучшения их качества, во время травления вдоль заготовки через ее среднюю часть (область формирования микроострия) пропускают электрический ток, плотность которого регулируется в пределах ю'-Ю** А/мм'^ и пропорциональна требуемой кривизне поверхности острия./.5 6 \ V-^^44^-+ >&Sb0 -^СО ^ »1^ 4ii.-0 -?

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„.Я0ы, 797440, А (594 H 01 Х 1/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2801423/18-25 (22) 25.08.79 (46) 23.03.86. Бюл. ¹ 11 (72) А.Д.Суворов, С.В.Зайцев и А.Ф.Бобков (53) 621.384.6(088.8)(56):Мюмер Э., Цонь Т. Автоионная микроскопия. — M., Металлургия, 1972.

Авторское свидетельство СССР № 171929, кл. Н 01 J 1/30, 1966. (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРООСТРИЙ из металлической проволоки, включающий электрохимическое травление средней части заготовки в тонком слое электролита и автоматическое прекращение травления при обрыве образующейся "шейки", о т л ич а ю шийся тем, что, с целью уменьшения и регулировки радиуса кривизны поверхностей микроострий и улучшения их качества, во время травления вдоль заготовки через ее среднюю часть (область формирования микроострия) пропускают электрический ток, плотность которого регулируется в пределах 10:-10 A/ìì и пропорциональна требуемой кривизне поверхности острия.

1 79 4 0

Изобретение предназначено для изготовления металлических микроострий — автоэмиссионных эмиттеров, применяемых в качестве точечных ионных и электронных источников, а также образцов в автоэлектронной и автоионной микроскопии.

Известны способы изготовления микроострий из металлической прово,локи включающие электрохимическое

Э травление средней части проволочной заготовки в слое электролита и автоматическое прекращение травления при обрыве .образующейся "шейки" под действием веса нижней части заготовки.

Общими недостатками этих способов являются плохая воспроизводимость параметров изготавливаемых микроострий, недостаточно высокая кривизна поверхности (R--500 А) и отсутствие. возможности заданным образом рег5лйфовать величину кривизны поверхности.

Из известных способов изготовления микробстрий из металлической проволоки наиболее близким к предлагаемому является способ травления в трехслойной ванне, включающий электрохимическое травление средней части проволочной заготовки в тонком .слое электролита и автоматическое прекращение травления при обрыве обP азующейся "шейки". Способ предусматривает травление проволочной заготовки в трехслойной ванне, в которой между нижним жидким контактом и верхним слоем электролита размещена жидкая непроводящая прослойка. Напряжение прикладывается между жидкйм контактом и электролитом.

7 4

Проволочная заготовка„1, укрепленная на держателе 2, погружается в трехслойную ванну, состоящую из жидкого контакта 3, непроводящей прослойки 4 и слоя электролита 5.

Прикладывается напряжение между электролитом и ж щким контактом (1-20 B в зависимости от вида заготовки и электролита). При:этом происходит травление в области формирования острия. Одновременно с этим дополнительно прикладывается напряжение между жидким контактом и держателем образца (обычно 5-10 В).

В процессе стравливания области

6 образуется шейка, причем плотность тока, проходящего через нее, увеличивается с уменьшением ее диаметра и достигает величин, при которых

20 проявляется эффект электропластичности. Плотность тока, необходимая для проявления этого эффекта, для различных материалов лежит в преде4 т

25 лах 10 -1О А/мм

Благодаря резкому повышению пластичности области формирования острия при отпадании нижней части за11 И готовки происходит вытягивание острия с меньшим радиусом кривизны, который можно регулировать изменением напряжения между держателем saготовки и жидким контактом.

Предлагаемый способ осуществлен благодаря тому, что в зоне формирования острия в 1000 раз возрастает удельная поверхность, что способствует интенсивному отводу тепла. В противном случае острие бы

40 просто оплавилось.

Заказ 1338/3 Тираж 643 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель В.Тихонов .Редактор О.Кузнецова Техред И.Верес КорректорА.Тяско