Способ формирования рисунков

Способ формирования рисунков

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Соцналмстнческих

Республик (6! ) Дополнительное к авт. саид-ву (53)М. Кл.

Н 01 Ь 21/302 (22) Заявлено 03, 12,79. (2) ) 2853129/18-2 1 с присоединением заявки ре (23) Приоритет

Государсткииый комитет ио делам иаебретеиий и открытий

Опубликовано 15.09.81. Бюллетень МЛ4

Дата опубликования описания 17 09 81 (53) УЙK 62 ).382. .Ь.002 ° 5(088.8) (54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКОВ

Изобретение относится н електронике и может быть использовано для формирования электродных систем разных размеров.

Известен способ формирования рисунка, например электродных систем, путем напыления металла через маску {„1)

Недостатками данного способа является необходимость предварительного изготовления маски или трафарета и невозможгость корректировки рисунка в процессе изготов19 лени я.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ формирования рисунка путем экспонирования нанесенного на подложк слоя фоторе- . .IS зиста через фотошаблон (Недостатками данного способа являются сложность изготовления фотошаблона и не обкодимость изготовления нового фотошабло на при любом изменении рисунка, что не позволяет оперативно изменять размеры рисунка и корректировать геометрические соотношения между et о элементами в процессе формирования рисунка. Кроме того, 2 изготовление фотошаблона является трудо емким процессом, требующим специальной

1 прецизионной аппаратуры. С ложной операцией является также установка фотошаблона, так как он должен плотно прилегать к слою фоторезиста по всей поверхности, а при больших размерах рисунка этого добиться трудно.

Бель изобретения - упрощение технологического процесса.

Поставленая цель дос.тигается тем, что согласно способу формирования рисунков, включающему нанесение фоточувствительного слоя на подложку и его экспонирование, после нанесения фоточувствительногослоя подложку помешают в ванну с легкопоцвижным веществом и возбуждают в нем колебания с частотой и формой, соответствующими конфигурации рисунка.

Экспонирование проводят синхронно с изменением фазы колебаний лагкоподвиж ного вещества.

Использование легкоподвижного вещест- . ва, наприМер водза, для формирования рисуню

43 82

Составитель A. Якименко

Редакт Н. Минко Тех ед N.Рейвес К ектор Г. Решетник

Заказ 7807/76 Тираж 787 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ?K-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ка позволяет жгко изменять размеры рисунка и геометрические соотношения его элементов измерением формы и частоты колебаний легкоподвжкного вещества, а использование режима синхронного эксионирования позволяет улучшить четкость рисунка и изменять пропорции между его элементами.

На чертеже схематически изображено устройство для реализации данного способа.

Пример . Для создания рисунка,, состоящего из параллельных полос длиной

lO см, ".шириной 0,5 мм и расстоянием между полосами 2 мм, на два электромагнитных вибратора 1 длиной 10 см, расположенные параллельно друг к другу и помещенные в ванну 2 с водой, подают переменное напряжение от генератора ГЗЭЗ. Вибраторами возбуждают колебания поверхности воды, причем частоту колебаний первоначально устанавливают 70 Гц, а затем изменяют, добиваясь расстояния между гребнями волн, равного 2 мм. зменяя величину напряжения генератора

3-33, амплитуду колебаний поверхности воды выбирают такой, чтобы ширина засвечиваемой полосы была 0,5 мм. Затем направляют изл чение 3 от стробоскопической лампы ИСП-5, работающей синхронно с генератором ГЗ-33 на поверхность воды и формируют промопулированным излучением рисунок на фоточувствительном слое 4.

Использование данного способа формирования рисунка обеспечивает созданы различных рисунков изменением формы и частоты колебаний легкоподвижного ве5 щества и, следовательно обеспечивает значительное сокращение времени и затрат (связанных с изготовлением фогошаблона}, особенно на этапе экспериментальных работ при отыскании оптимальной

10 геометрии рисунка. формула изобретения

1. Способ формирования рисунков, включающий нанесение фоточувствитс;а ноF0 слоя HB подложку и его экспонирование, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью упрощения технологического про цесса, после нанесения фоточувствитеж—

20 ного слоя подложку помещают в ванну с легкоподвижным веществом и возбуждают в нем колебания с частотой и формой, соответствующими конфигурации рисунка.

2. Способ по и. 1, о,т л и ч а ю15 ш и и с я тем, что, экспонирование проводят синхронно с изменением фазы колебаний легкоподвчжного вещества.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

М 444833, кл. С 23 С 13/08, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР

М 577506, кл. С 03 Р 7/20, 1977 (прототип).