Способ обработки пластин арсенида галлия
Патент 865057
Авторы
Классы МПК
Способ обработки пластин арсенида галлия
Реферат
Способ обработки пластин арсенида галлия, включающий их отжиг в градиенте температуры при постоянной средней температуре в течение 1 - 4 часов, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пластин - подложек для эпитаксии и структур на их основе, устанавливают величину градиента температуры 473 - 1073 К/см при средней температуре 873 - 1073 К