Устройство для контроля неоднородностей слоев материалов

Устройство для контроля неоднородностей слоев материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗЬБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Реслублик ()890213 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 15.04.80 (21) 2913122/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.

G01 N 27/22

Гееударстееннмй кемнтет пе делам нзоеретеннй н еткрмтнй

Опубликовано 15.12.81. Бюллетень № 46

Дата опубликования описания 25.12.81 (53) УДК 543.72 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Е. Кравцов, В. В. Пермяков и М. А. Резников

Опытное производство при Институте физики

АН Украинской CCP (7I ) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ

СЛОЕВ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к неразрушающему контролю покрытий, в частности, диэлектрических слоев в машиностроении.

Известно устройство для контроля диэлектрических слоев, в котором регистрирующий материал наносят на диэлектрическую подложку и затем наносят исследуемый материал (1).

Однако данное устройство обладает низкой производительностью.

Известно также устройство для неразрушающего контроля, которое содержит светоизолированный корпус, в котором размещены два графитовых электрода, соединенные с источником тока, между которыми размещают систему: исследуемый образец — фотобумага (2).

Недостаток такого устройства заключается в его низкой производительности, поскольку для его функционирования необходимы затраты ручного труда.

Цель изобретения — увеличение производительности устройства.

Указанная цель достигается тем, что уст- 20 ройство, содержащее светоизолированный корпус, два электрода, один из которых плоский, соединенные с источником электроэнергии, дополнительно снабжено подающей и приемной кассетами для фотопластин, между которыми установлен один из электродов, снабженный держателем, а плоский электрод снабжен захватами для фотопластин и установлен с возможностью перемещения между подающей и приемной кассетами, а держатель выполнен в виде цилиндра и подпружиненного поршня, образующих герметизированную полость, которая снабжена клапаном, соединяющим ее -с атмосферой, причем поршень имеет систему отверстий, соединяющих герметизированную полость с контактной поверхностью цилиндра.

Указанное выполнение электродов, совместно с расположением их с кассетами, позволяет полностью автоматизировать устройство для контроля неоднородностей диэлектрических слоев, непрерывность и продолжительность работы которого зависит от емкости кассет.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 и фиг. 3 — держатель.

Устройство, изображенное на фиг. 1, состоит из плоского электрода 1 с захватами 2 и механизмом его перемещения 3, подаю89021

ts

zo

Формула изобретения

3 щей 4 и приемной 5 кассет для фотопластин, электрода 6 с держателем и механизма 7 его перемещения. На фиг. 1 изображены также образец исследуемого материала 8, фотопластина 9 и светоизолированный корпус 10.

Устройство работает следующим образом.

В исходном состоянии в кассете 4 находятся неэкспонированные фотопластины, кассета 5 пуста, электрод 1 находится в крайнем правом положении, а электрод 6, с лежащим на его поверхности образцом 8, в крайнем нижнем положении. Механизм 3, например винтовая пара, перемещает электрод 1 в крайнее левое положение. При этом срабатывают концевые выключатели и передают сигнал исполнения следующему механизму на движение (таким образом работают все исполнительные механизмы устройства). Захваты 2 захватывают фотопластину из кассеты 4. Затем электрод 1 перемещается обратно в крайнее правое положение и фотопластина оказывается расположенной в межэлектродном пространстве. После этоr0 механизм 7 перемещает электрод 6 в крайнее верхнее положение и фотопластина с образцом 8 оказываются зажаты между электродами. Далее подается высокое напряжение на электроды и происходит процесс экспонирования. После снятия напряжения вследствие поляризации образца и фотопластины происходит прилипание образца к фотопластине. При опускании электрода 6 в исходное крайнее положение он сначала при помощи пневматического держателя отрывает образец от фотопластины, отводит его от поверхности фотопластины, а затем опускает, возвращая устройство в исходное положение. После смены контролируемого образца устройство готово к следующей экспозиции, причем при последующих экспозициях электрод 1 своими захватами 2 одновременно с перемещением неэкспонированной фотопластины в межэлектродное пространство сталкивает проэкспонированную фотопластину в приемную кассету 5.

Конструкция держателя изображена на фиг. 2 и состоит из поршня 11, цилиндра 12, пружины 13, клапана 14, уплотняющего коль- 4 ца 15 и упора 16. Кроме того, на фиг. 2 изображены контролируемый образец 8, фотопластина 9 и плоский электрод 1. Цилиндр 12 на фиг. 2 изображен в крайнем верхнем положении, на фиг. 3 — в крайнем нижнем.

Устройство работает следующим образом.

В исходном состоянии цилиндр находится в крайнем нижнем положении; После помещения исследуемого образца и фотопласти3

4 ны в межэлектродное пространство цилиндр переводится в крайнее верхнее положение.

При этом образец и фотопластина оказываются зажатыми между плоским электродом 1 и поршнем — электродом 11, а клапан 14 выпускает воздух из полости цилиндра. После снятия напряжения с электродов цилиндр начинает перемещаться в крайнее нижнее положение. При этом поршень усилием пружины 13 продолжает оставаться поджатым к образцу 8, вследствие чего в полости цилиндра создается разряжение и образец присасывается к поверхности поршня. После окончания свободного хода поршня 11 он упирается в корпус цилиндра и происходит отрыв образца от фотопластины. При дальнейшем перемещении цилиндра в крайнее нижнее положение клапан 14 доходит до упора 16, открывается и позволяет снять образец с поверхности поршня.

Предлагаемое устройство позволяет осуществить автоматизированный электротопографический контроль неоднородностей слоев материалов как в лабораторных, так и в производственных условиях, что улучшит качество и надежность контролируемой продукции.

1. Устройство для контроля неоднородностей слоев материалов, содержащее светоизолированный корпус, два электрода, один из которых плоский, соединенные с источником электроэнергии, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности, оно имеет подающую и приемную кассеты для фотопластин, между которыми установлен электрод, снабженный держателем, а плоский электрод, снабжен захватами для фотопластин и установлен с возможностью перемещения между подающей и приемной кассетами.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что держатель выполнен в виде цилиндра и подпружиненного поршня, образующих герметизированную полость, которая снабжена клапаном, соединяющим ее с атмосферой, причем поршень имеет систему отверстий, соединяющих герметизированную полость с контактной поверхностью цилиндра.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 360599, кл. G 01 N 27/24, 1971.

2; Носиков С. В., Пресс В.Г. Электрогра-. фический способ выявления пор в пленках оксида и нитрида кремния. — «Электронная промышленность», 1971, № 2, с. 69 (прототип) .

890213

Составитель А. Хорцев

Редактор С. Тимохина Техред А. Бойкас Корректор А. Дзятко

Заказ 10958/69 Тираж 910 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4