Устройство для стробирования электронного зонда

Устройство для стробирования электронного зонда

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<1911650

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (53) J4. Кд.з (22) Заявлено 040680 (21) 2936135/18-21 с присоединением заявки ¹

Н 01 У 37/26

Госуларственпый йомитет

СССР но делам изобретений и открытий (23) Приоритет (531УДК 621.385 °.833 (088 ° 8) Опубликовано 070382.Бюллетень ¹ 9

Дата опубликования описания 070382 (72) Авторы (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СГРОБИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО

ЗОНДА 2

Изобретение относится к электронной микроскопии и предназначено для стробирования электронного зонда в электроннооптических системах (растровый и просвечивающий электронный микроскоп, электронограф, рентгеновские микроанализаторы и т.п.) при, исследовании динамических процессов.

Известны системы стробирования электронного зонда, содержащие электроды той или иной конфигурации, на которые подаются бланкирующие импульсы напряжения, осуществляющие. периодическую отсечку электронных пучков (1).

Реализация таких устройств свя- зана с большими техническими трудностями, обусловленными переделкой отдельных узлов прибора. При этом теряется разрешение, а быстродейст"

Вие системы невелико.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для стробирования электронного зонда. Это устройство содержит электроды бланкирования в виде двух пар отклоняющих пластин и диафрагмы. (2). .!

Однако такой электронный затвор требует .большого импульсного напряжения отсечки, обладает недостаточньпйи чувствительностью и временным разрешением. Вызваны эти недостатки тем обстоятельством, что система из двух плоскопараллельных пластин обладает довольно большой емкостью, что уменьшает быстродействие устройства, а также тем, что при отклонении высо коэнергетичных пучков требуется большая напряженность однородного поля между пластинами, создание которого в импульсном режиме затруднительно.

Цель изобретения — повышение чувствительности и временного разрешения.

Указанная цель достигается тем, что в УСтройстве стробирования электоронного зонда, содержащем электроды бланкирования и диафрагмУ, один из электродов выполнен в виде половины полого цилиндра, ось которого совпадает с электронно-оптической осью, а другой т в виде заостренной пластины с линией острия, размещенной в продольной плоскости симметрии первого электрода.

На чертеже представлена схема

30 1 устрой

911650

Формула изобретения

ВНИИПИ Заказ 1141/47 Тираж 758 Подписное

Филиал ППП "Патент", r.Óæãoðoä, ул.Проектная,4

Электронный затвор образован ак.сиально-симметричными электродами для создания неоднородного радиального поля. Электрод 1-полуцилиндрической формы, ось внутреннего канала которого совпадает с оптической осью микроскопа. Электрод выполнен в виде острия 2 пластины (лезвия), линия которого совпадает с образующей электронного зонада. Электронный зонд 3 взаимодействует с диафраг-)О мой 4. При подаче, постоянного или импульсного напряжения на электроды у отрия 2 создается большая напряженность электрического поля, под действием которого электронный зонд 3 сме.)5 щается и прерывается на апертурной диафрагме 4.

Напряженность радиального поля у края острия 2 достигает весьма значительной величины даже при малых амплитудах строб-импульсов. Так, при подаче на острие импульса амплитудой

3 В происходит полная отсечка электронного зонда 3 на диафрагме 4 при ускоряющем напряжении прибора 30 кВ (радиус цилиндрического канала 2 мм, радиус закругления острия лезвия 2 мкм, высота всего устройства 25 мм). Величина импульса отсечки на порядок меньше (т.е. чувствительность на порядок .лучше), чем при использовании общепринятой известной системы с . однородным полем, создаваемым обычно устройством с двумя плоскими пластинами, или их вариациями.

Временные характеристики предлагаемой системы в несколько раз лучше, чем у известных, так как уменьшается межэлектродная емкость.

Эксперименты подтверждают целесообразность применения предлагаемого40 д стробирующего устройства для отсечки электронного пучка как при исследовании кинетики временных процессов и динамики явлений, так и в методах повышения пространственного разрешения, а также при резонансном вырелении слабых сигналов на фоне спектрального неоднородного шума.

Устройство можно легко использовать на всех серийных электронных микроскопах и других электроннозондовых приборах..Устройство для стробирования электронного зонда; содержащее электроды бланкирования и диафрагму, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности и временного разрешения, один из.электродов бланкирования выполнен в виде половины полого цилиндра, ось которого совпадает с электронно-оптической осью, а другой — в виде заостренной пластины с линией острия, размещенной в продольной плоскости симметрии первого электрода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Деркач В.П., Кияшко Г.Ф., Кухарчук М.С. Электроннозондовые устройства. Киев, "Наукова Думка", 1974, с. 13b-138.

2. Спивак Г.В. и др . О применении затворов с отклоняющими пластинами в стробоскопических электронных микро- . скопах,, Известия АН СССР, Серия физическая, 1968, т.32, 9 77, с. 11111114 (прототип) .