Плазменный реактор для напыления
Патент 913911
Авторы
Классы МПК
- H05H1 - Плазменная техника (термоядерные реакторы G21B; ионно-лучевые трубки H01J 27/00; магнитогидродинамические генераторы H02K 44/08; получение рентгеновского излучения с формированием плазмы H05G 2/00); получение или ускорение электрически заряженных частиц или нейтронов (получение нейтронов от радиоактивных источников G21, например G21B,G21C, G21G); получение или ускорение пучков нейтральных молекул или атомов (атомные часы G04F 5/14; устройства со стимулированным излучением H01S; регулирование частоты путем сравнения с эталонной частотой, определяемой энергетическими уровнями молекул, атомов или субатомных частиц H03L 7/26)
- C23C14 - Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H01J 37/00)
Плазменный реактор для напыления
Реферат
Плазменный реактор для напыления, содержащий камеру, по крайней мере два плазмотрона, установленные в стенке камеры, систему подачи напыляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения качества напыления и экономичности процесса, камера выполнена сферической формы, а точка пересечения осей плазмотронов совпадает с центром камеры.