Установка для нанесения покрытий из газовой фазы

Установка для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ „(цыц

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалксткческии

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 23. 01. 81 (21) 3238993/22-02 {54) М. Кп.з

С 23 С 11/02

С 23 С 13/08 с присоединением заявки N9— . (23) Г)РиоРитет - 02, 01 у9

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий

tS3) УДК 621. 793. . 14 (088.8) Опубликовано 230882, Бюллетень Мо 31

Дата опубликования описания 23.08 ° 82

A.Á. Димант, A.Á. Куркин, Ф.A. Глускин, В. C-;Èóðýèí.,., Д.П.Воронин и В.Г.Хлапов (72) Авторы изобретения

Научно-исследовательский и экспериментапьный институт. . автомобильного электрооборудоВания и автоприборов (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы. .Известна установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки иэделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем указанные камеры снабжены автономными системами откачки. Установка позволяет производить смену иэделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации P).

Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы.. Отсутствие шлюзовых устройств внутри .промежуточной камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали, охлаждаемые в промежуточной камере, могут сопри-. касатъся с парами исходного соединения и продуктами их разложения.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемо му результату является установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру"металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгруэочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой $2) .

Однако такая установка при осаждении покрытий из .газовой фазы не обеспечивает требуемого качества, поскольку изделия, транспортируемые в загрузочно-разгрузочную камеру, могут соприкасаться с парами исходного соединения и продуктами их разложения.

Целью изобретения является повышение качества покрытий.

Поставленная цель достигается тем, что установка, содержащая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения иэделий в камеру металлизации,систему откачки,соединенную с камерой металлиэации и разгрузочно-загрузочной камерой, снабжена заслонкой, установленной между камерой .металлизацни и загрузочно-разгрузочной камерой,и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки для пере953003 крытия входного отверстия камеры металлизации.

Такое конструктивное выполнение установки обеспечивает повышение качества покрытий, так как в мо-, мент металлизации заглушка на торцовой части толкателя разобщает камеру металлиэации и загрузочно1разгруэочную камеру. Пары исходного химического соединения при этом не проникают иэ камеры металлизации в загрузочно-разгрузочную камеру и не попадают на изделия.Толкатель выполняет и функции держателя изделий,так: . как вместо держателя иэделий в камере металлиэации толкатель снабжен 15 нагревателем, предназначенным для перемещения изделий. Нет необходимости иметь бункер для готовой продукции, потому что металлизированные изделия возвращаются в загрузочно-разгрузочную камеру. Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и эагрузочноразгрузочную камеру разобщает заслонка при выходе на режим, смене 25 деталей и т.п. При этом также предотвращается попадание паров исходного соединения и продуктов их распада на изделия.

На чертеже показана принципиальная схема предлагаемой установки.

Она содержит загрузочно-разгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки 4 с резистивным нагревателем 5, предназначенным для перемещения изделия 6, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10, причем камера 9 металлизации снабжена испа- 40 ряющим устройством 11. Промежуточная камера 10 соединена с шлюзовым устройством 7, установленным на верхней части камеры 1. Поворотный транспортер 2 предназначен для перемещения кассет с изделиями 6. Испаряющее устройство 11, входное.отверстие 12 камеры 9 металлизации, шлюзовое устройство 7 и толкатель 3 с заглушкой 4 расположены соосно и вер- 5 тикально, причем заглушка 4 толкателя 3 в верхнем положении перекрывает входное отверстие 12 камеры 9 металлиэации. Камера 1 имеет люк 13 для загрузки и выгрузки изделий. . Установка работает следующим образ ом.

Через люк 13 иэделия 6 загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк

13 закрывают и создают в загрузочно-разгрузочной камере .1 вакуум.

Одновременно при закрытой заслонке 8 шлюзового устройства 7 образуется вакуум в камере 9 металлиэации, затем производят ее термостатирование до требуемой температуры. После этого 65 открывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 и.поднимают толкатель 3.

Освобожденная заглушка 4 перемещается и в крайнем верхнем положении упирается в нижний фланец камеры 9 металлиэации, полностью перекрывая ее входное отверстие 12, при этом обрабатываемое изделие 6 оказывается в камере 9 металлиэации в зоне индукционного нагрева. В камеру подают пары исходного металлоорганического соединения (MOC), которые равномерно обтекают нагретую поверхность изделия 6, разлагаются на этой поверхности и образуют покрытия и летучие продукты разложения. .,Через заданный промежуток времени прекращают выход паров из испаряющего устройства 11 в камеру 9 металлиэации. Затем толкатель 3 с заглушкой 4 и размещенным на ней изделием 6 опускают в крайнее нижнее положение. При выходе заглушки 4 с изделием 6 заслонку 8 закрывают. При опускании толкателя 3 иэделие 6 с покрытием выводится иэ зоны действия толкателя 3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 при отсутствии паров МОС, а другое изделие без покрытия оказывается над толкателем. После этого цикл повторяется.

По окончании обрабстки всех иэделий закрывают заслонку 8 шлюзового устройства 7, производят разгерметизацию загрузочно-разгрузочной камеры 1 и выгрузку обработанных изделий 6 и загрузку новых изделий.

Использование изобретения позволяет повысить качество покрытий и обеспечить безопасность процесса.

Формула изобретения

Установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру металлизации с входным отверстием, загрузочнб-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлиэации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, она снабжена заслонкой, установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент CIIIA.9 3915117, кл. 118-49, 1975.

2. Патент CIIIA Р 3856654, кл. 204-298, 1971.

953003

Составитель Л.ВУРлинова

Техред М. Рейвес Корректор М.Демчик

Редактор А.Шишкина

Заказ 6221/45 Тираж 1053 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4