C23C16/46 - характеризуемые способом, используемым для нагрева подложки (C23C 16/48,C23C 16/50 имеют преимущество)

Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере

М 123645 Класс 22f, 15 СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ М, С. Сытилин СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СУБЛИМИРОВАННЪ|Х ПЛЕНОК ИЗ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В ГОРЯЧЕЙ КАМЕРЕ Заявлено 23 ноября 1956 г. за № 462757/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 21 за 1959 г, Предмет изобретения Способ получения суб...

123645

Всесоьознаяn^ldslko-ioli'f'ieckafи^^^бл^^отекл

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 344034 Союз Советскив йоциалистическив Республик Зависимое от авт. свидетельства № Заявлено 23.!!.1971 (№ 1625710/26-9) с присоединением заявки № Приоритет Опубликовано 07Х!!.1972. Бюллетень № 21 Дата опубликования описания 18 т/11.1972 М. Кл. С 23с 17/00 йоепттет ао ползи изобретений и открытий ори Совете Министров СССР УД...

344034

Установка для нанесения покрытий из газовой фазы

ОПИСАНИЕ „(цыц ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалксткческии Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-вувЂ” (22) Заявлено 23. 01. 81 (21) 3238993/22-02 {54) М. Кп.з С 23 С 11/02 С 23 С 13/08 с присоединением заявки N9вЂ” . (23) Г)РиоРитет - 02, 01 у9 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий tS3) УДК 621. 793. . 14 (088.8) Опубл...

953003

Способ изготовления проводящей легированной алмазоподобной нанокомпозитной пленки и проводящая легированная алмазоподобная нанокомпозитная пленка

Способ изготовления проводящей легированной алмазоподобной нанокомпозитной пленки, имеющей в своем составе в качестве основных элементов углерод, кремний, металл, кислород и водород, осуществляется следующим образом. Размещают в вакуумной камере держатель с подложкой, на которую подают напряжение 0,3-5,0 кВ. Создают газоразрядную плазму с энергетической плотностью более 5 кВтч/г-атом угле...

2186152

Система токоприемника

Данное изобретение относится к системе токоприемника для устройства, выполненного с возможностью обработки подложек и/или пластин. Система токоприемника имеет полость (1), которая служит камерой для обработки подложек и/или пластин и которая проходит в продольном направлении и ограничена верхней стенкой (2), нижней стенкой (3), правой боковой стенкой (4), и левой боковой стенкой (5). Верхняя стенк...

2304635

Система токоприемника

Изобретение относится к системе токоприемника для устройства обработки подложек и/или пластин, снабженной камерой обработки, ограниченной, по меньшей мере, двумя стенками и, по меньшей мере, одним нагревательным соленоидом. Система токоприемника содержит, по меньшей мере, один токоприемный элемент, ограниченный наружной поверхностью и выполненный из электрически проводящего материала, подходящего...

2305718

Устройство для плазменного химического осаждения из газовой фазы и способ изготовления заготовки

Изобретение касается устройства для выполнения процесса плазменного химического осаждения из газовой фазы (PCVD), способа изготовления заготовки (варианты), способа изготовления оптического волокна (варианты) и печи для поддержания температуры подложки в процессе PCVD. Один или более легированных или нелегированных слоев наносят на внутреннюю поверхность стеклянной трубки подложки способом PCVD....

2366758

Реактор для осаждения из газовой фазы (cvd-реактор) с технологической камерой, нагреваемой с помощью высокочастотного излучения (rf-излучения)

Изобретение относится к аппаратурному оформлению процесса осаждения из газовой фазы кристаллических слоев на кристаллическую подложку. Устройство для осаждения, в частности, кристаллических слоев на, по меньшей мере, одну, в частности, кристаллическую подложку с образованной несколькими стеновыми частями 1, 2, 3, 4 технологической камерой 5, стеновые части 1, 2, 3, 4 которой электропроводны и сты...

2389834

Способ и устройство для выращивания пленки нитрида металла группы (iii) и пленка нитрида металла группы (iii)

Изобретение относится к способу выращивания пленки нитрида металла группы (III) химическим осаждением из газовой фазы с удаленной плазмой, устройству для осуществления способа и пленке нитрида металла группы (III) и может найти применение при изготовлении светоизлучающих диодов, лазерных светодиодов и других сверхвысокочастотных транзисторных приборов высокой мощности. Способ включает нагревание...

2391444

Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD. Подложка размещена в опорной выемке (20) опоры держателей подложки на удерживаемом образованной газовым потоком динамической газовой подушкой (8) держателе подложки (9). Подвод тепла к подложке (9) осуществляют, по меньшей мере, частично...

2435873

Устройство для получения карбидокремниевых волокон

Изобретение относится к устройствам для получения пиролизом монофиламентных карбидокремниевых волокон. Устройство для получения карбидокремниевых волокон состоит из одной или более камер. Каждая камера выполнена в виде стеклянной трубки с двумя штуцерами для подачи газовой смеси алкилхлорсиланов с водородом, с двумя ртутными штуцерами и двумя сливными штуцерами с возможностью удаления из одной ил...

2471885

Устройство для получения борных волокон

Изобретение относится к устройствам для получения борных волокон. Устройство для получения борных волокон содержит сборный корпус, состоящий из стеклянных неразборных камер. Каждая камера содержит два ртутных и два газовых штуцера, выполненных в виде стеклянных трубок. Внутри каждой камеры расположены стеклянные усеченные конусообразные элементы, впаянные между газовым штуцером для подвода паров...

2477338

Способ осаждения тонкой полимерной пленки в газовой фазе при низком давлении

Изобретение относится к способу осаждения одного или нескольких тонких слоев. Осуществляют введение органического материала для осаждения компонентов светоизлучающих диодов в виде газа или образующего полимер технологического газа вместе с газом-носителем с помощью газовпускного устройства (3) в осадительную камеру (8), чтобы на поверхности (7′) субстрата (7), размещенного на несущей поверхности...

2502831

Способ нанесения палладиевого покрытия на подложку

Изобретение относится к способу нанесения палладиевого покрытия на подложку и может быть использовано при изготовлении водородопроницаемых палладийсодержащих мембран. Подложку помещают в реактор, который откачивают до 1·101 Па. Подложку нагревают до необходимой температуры и доставляют пары прекурсора в зону реактора, в которой расположена подложка. Подложку нагревают до температуры 150-300°C, д...

2555283

Способ получения покрытия из карбида кремния на кварцевом изделии

Изобретение относится к металлургии получения особо чистых материалов и может быть использовано при получении защитного покрытия карбида кремния на кварцевом изделии осаждением из газовой фазы на нагретую поверхность, применяемого для технологической оснастки в процессах получения особо чистых элементов и веществ. Проводят очистку упомянутого изделия и метана. При достижении температуры нагрева...

2558812

Способ осаждения монокристаллических сплавов на основе вольфрама

Изобретение относится к технологии получения вольфрама, легированного ниобием или танталом, и может быть использовано в электровакуумном приборостроении, электронике. Способ осаждения монокристаллических сплавов на основе вольфрама методом химических транспортных реакций на трубчатую монокристаллическую молибденовую подложку, установленную внутри сырьевой трубы из вольфрама, включает разогрев по...

2590568

Химическое осаждение из газовой фазы фторуглеродных полимеров

Изобретение относится к способам формирования тонкой пленки на основе фторуглеродного полимера на поверхности детали. Осуществляют стадии, на которых пропускают исходный газ через пористый нагревательный элемент c хаотично расположенными порами, причем указанный пористый нагревательный элемент имеет температуру, достаточную для расщепления исходного газа с образованием реакционноспособных частиц (...

2608482

Способ нанесения износостойкого железоникелевого покрытия на прецизионные детали из низколегированных сталей

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий и может быть использовано для получения износостойких покрытий при восстановлении и упрочнении прецизионных деталей из низколегированных сталей дорожно-строительных, почвообрабатывающих, сельскохозяйственных, лесозаготовительных машин в условиях ремонтных предприятий. Способ нанесения износостойкого железоникелевого покрытия на преци...

2626126

Способ получения покрытий на основе металлов платиновой группы на полюсных наконечниках эндокардиальных электродов

Изобретение относится к способу получения покрытия на основе металлов платиновой группы на изделиях в виде полюсных наконечников эндокардиальных электродов. Проводят осаждение из паровой фазы материала покрытия на поверхность изделия. Изделие помещают в реактор на нагреваемый пьедестал, затем в по меньшей мере один испаритель загружают навеску соединения-прекурсора в количестве 200-400 мг, в качес...

2630400

Способ получения покрытия на основе диоксида кремния внутренней поверхности кварцевого изделия

Изобретение относится к металлургической промышленности, в частности к металлургии полупроводников, и предназначено для изготовления кварцевых контейнеров с покрытием из диоксида кремния рабочей поверхности. Способ получения покрытия на основе диоксида кремния на внутренней поверхности кварцевого изделия включает введение в реакционную зону тетрахлорида кремния и воду и осаждение пленки диоксида н...

2631779

Устройство для лазерно-плазменного синтеза высокотвердых микро- и наноструктурированных покрытий

Изобретение относится к технологиям получения микро- и/или наноструктурированных защитных и функциональных покрытий на поверхностях деталей машин и механизмов, трубопроводов и насосов, в частности к устройству для получения высокотвердых покрытий. Устройство содержит импульсно-периодический лазер, реакционную камеру со средством позиционирования обрабатываемого объекта с управляющим процессором...

2638610

Составы для получения содержащих оксид индия слоев, способы получения указанных слоев и их применение

Настоящее изобретение относится к жидкому составу для получения содержащих оксид индия слоев. Состав получают путем растворения по меньшей мере одного соединения алкоксида индия, которое может быть получено при помощи реакции тригалогенида индия InX3, где X=F, Cl, Br, I, с вторичным амином формулы R'2NH, где R'=C1-C10-алкил в молярном соотношении от 8:1 до 20:1 к тригалогениду индия в присутствии...

2659030

Алмазное покрытие и способ его осаждения

Изобретение относится к микрокристаллическому алмазному покрытию, предназначенному для трибологических областей применения в сфере микромеханики, а также в оптике. Микромеханическая деталь включает подложку, имеющую поверхность с алмазным покрытием, включающим по меньшей мере одну стопку из первого нанокристаллического алмазного слоя с размером зерен на поверхности, меньшим, чем 50 нм, и второго м...

2660878

C23C16/46 - характеризуемые способом, используемым для нагрева подложки (C23C 16/48,C23C 16/50 имеют преимущество)

Патенты в этой категории