Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур
Патент 971041
Авторы
Классы МПК
Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур
Реферат
Способ контроля электролюминесцентных p-n-структур, включающий измерение интенсивности электролюминесцентного излучения со стороны эпитаксиального слоя, отличающийся тем, что, с целью неразрушающего контроля толщины p-n-областей электролюминесцентной структуры, дополнительно измеряют интенсивность электролюминесцентного излучения со стороны подложки и по отношению определяют толщину p-n-областей.