Датчик квадрупольного масс-спектрометра

Датчик квадрупольного масс-спектрометра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Э. П, Шеретов, М. П. Сафонов, Б. И.-Кеаощ лин, Б. И. Бехарский, О. Р. Савин, В. В. Захарченко и,Э. Й, Ваисберг

/ г (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Рязанский радиотехнический: кистина ут .

1 (54) ДАТЧИК КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

Изобретение относится к масс-спект рометрии и может быть иепользовано при создании квадрупольных маях -спектромет ров с высокими разрешающей способностью и чувствительностью. 5

В известном датчике квадрупольного фильтра масс-электроды выполнены в виде круговых стержней, а для крепления стержней используются посадочные повер-, хности,совпадающие с поверхностями алек- о тродов 1 ).

Недостаток этого устройства заключается в сложности выполнения внутренних посадочных поверхностей.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является датчик квадру- польного масс-спектрометра, содержащий, по крайней мере, один электрод, выпол ненный в виде гиперболического цилинд 20 р (г 1.

В известном датчике часть цоверхиоо- ти, предназначенная для их крепления, выполнена в виде части кругового пилин

2 дра, причем радиус цилиндра совпадает с радиусом посадочной поверхности.

Недостатками данного устройства являются сложность изготовления таких электродов и, что особенно важно, спожность центровки электродов относительно плоскостей симметрии электрического поля.

Цель изобретения - увеличение чувствительности и разрешающей способности квадрупольных масс-спектрометров.

Поставленная цель достигается тем, что в датчике квадрупольного массспекьрометра, содержащем, по крайней мере, один электрод, выполненный в виде части гиперболического нилиндра в краевых областях датчика электрод имеет участки поверхности, выполненные в виде плоскостей,параллельных асимптотическим плоскостям квадрупольной электродной системы.

Изготовление электродов такого датчика может быть основано на применении ° фрезерных станков с числовым программ ным управлением (ЧПУ). При этом и гиМ96

3 перболическая поверхность, и плоскость электродов должны выполняться по одной программе, что гарантирует точное взаим ное расположение посадочных и рабочих поверхностей. Применение станков с ЧПУ дает также высокую идентичность всех электродов в датчике, что особенно важ но при сборке датчика.

На чертеже показана электродная сис» тема монопольного массо-спектрометра. 10

Схема содержит полеобразующие электроды 1 и 2, плоский изолятор3. Уравнение гиперболической поверхности имеет вид Р-к = Г

-к = Oi

35 а плоскости: ч= Х+Ь, где

8= i e; -расстояние от плоскости электрода до плоскости симметрии, причем уровень ограничения гиперболической поверхности

20 г - е х о ьЯ (В предлагаемой конструкции датчика электроды собираются на керамических пластинах, которые легко можно выполПредлагаемое техническое решение позволяет упростить конструкцию электродов в датчике квадрупольного масс-спектромет. ра и вследствие этого уменьшить ошибку 4О при сборке. Все это приведет к увеличению разрешающей способности и чувствительности масс-спектрометра.

Формула изобретения

Датчик квадрупольного масс»спектрометра, содержащий, по крайней мере, один электрод, выполненный в виде части гиперболического цилиндра, о т л и ч а юнить с высокой точностью. При этом цен» тровка электродов получается автоматичеокн1 а ее точность определяется только точностью изготовления керамической пла ж стинки. Уровень ограничения гиперболичес>кой поверхности или относительная толщи3 на керамической пластины.— могут бить 0 определены из расчета ошибки в распреде ленин поля, вызванной заменой гиперболи. ческой поверхности плоскостью в краевой области датчика. В таблице приведены значения среднеквадратичной ошибки в распределении поля, рассчитанной на ЭВМ

1 по всему рабочему объему датчика, or seличины - .

Если ъ первом приближении допустимую разрешающую способность определить как е

9доp" g, то уже при 0,35 мож .

0 но получить в таком датчике разрешающую способность около 750.

Зависимость среднеквадратичной ошибЮ ки в распределении поля от величины —,. г,. шийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности и чувствительности, электрод в краевых областях датчика выполнен с плоскими участками поверхности, параллельными асимптотическим плоскостям квадрупольной электродной системы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР.

¹ 463055е кл 5 01 8 27 62е 1972 °

2. Патент США 3553451, кл. Н 01 2 39/36, 1971 (прототип)., 989614 (оотаиитдль Н. ì р д H.Гайду

Корректор С. Шекмар редактор А. Долили

Ти

Заказ 11138 71 нного комитета ССС щ ИИПИ Гооударотн ло делам изобретений ений и открытий

4/5

Ра окая наб., д.

113035, Москвар Ж-35, Р уш

Проектная, 4

Филиал ППП "Патент, r. Ума ород, ул