КУЛИКОВ В.А.

  (i i) 6I 2558 ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сова Советских Социалистических Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10,06.75 (21) 2143110/24-07 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.08.82. Бюллетень № 32 (45) Дата опубликования описания 30.08.82 (51) М Клз Н 02К 15/02 Государственный комитет СССР ио делам изобр...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 0064669 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 01.08.75 (21) 2161138/07 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет Опубликовано 30.08.82. Бюллетень № 32 Дата опубликования описания 30.08.82 (51) М, К Н 02 К 15/02 Государственный комитет (53) УДК 621.313.04 (088.8) fl0 де...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к спо собам измерения ширины линии рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотошаблонах для литографии. Цель изобретения - повышение точности измерения ширины непрозрачных линий за счет изменения йоляриэации излучения. При измерениях непрозрачных линий объект освещают линейно поляризова...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повьппение достоверности контроля качества проработки линий субмикронной ширины. Цель изобретения состоит в повышении достоверности контроля качества проработки линий рисунка в непрозрачном маскирующем слое, нанесенном на прозрачную подложку. Способ включает освещение измеряемого объекта электромагнитным излучением...

  Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения ширины линий рисунка иа объектах, например в mi to- графии. Цель - повышение точности измерения - достигается путем умень шения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации . Объект освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения , собирают прошедшие объект излуче...