ТАМУЛЕВИЧЮС СИГИТАС ИОНО

  0 Il H t A H N 6 «886044 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социвпистичесиих Рес ублии (61) Дополнительное к авт. свид-sy (22) Заявлено:11.03.80 (21) 2893480/18 10 (51) М. Кл. 3 с присоединением заявки J4 (23) Приоритет11 В 5/42 9вударежнньй кеаетат CCCP an делам наабретеннй < .и втнрмтнй Опубликовано 30.1l.8l. Бюллетень Р

  Изобретение относится к физическим методам анализа материалов электронной техники и может применяться для анализа тонких пленок методом Оже-спектроскопии Цель изобретения - повышение разрешения по глубине Для этого исследуемый образец облучают электронами с энергией 10-15 кэВ и одновременно со спектром Ожеэлектронов регистрируют характеристическое рентгеновское излучение исследуе...