КОРЧКОВ ВАЛЕРИЙ ПЕТРОВИЧ

  " в Г «:ъ Т.Н.Мартынова, В.П. Корчков, В.М. Гранкин и Н.С.Гудкова 3,-, „Д; °;..; ... f Институт неорганической химии Сибирского 1 отделения АН СССР (72) Авторы изобретения (7!) Заявятель (54) ИСПАРИТЕЛЬ Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам дпя напыпения покрытий в вакууме, в частности к технологии нанесения вакуумных фото- и электро...

  Союз Советских Социалнсткческнк Республик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено 19.08 ° 80 (21) 2977699/23-26 )51) М Кл З с присоединением заявки ¹â€” В 01 D 7/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 300782. Бюллетень ¹ 28 (53) УДК 66.065. . 52 (088.8) Дата опублик...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик ii 983835 ( (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (54)NL. Кл. Н 01 1. 21/02 (22) Заявлено 16.04.79 (2l ) 2767 164/1S-10 с присоединением заявки №вЂ” Ркударстееииый коюитет СССР ио делаю иаабретеиий и открытий (23) Приоритет Опубликовано 23.12.82. Бюллетень ¹ 47 Дата опубликования...

  СПСХ:ОВ ЛИТОГРАФИИ включающий нанесение на подложку чувствительного слоя кремнийорганического соединения методом вакуумного испарения , его экспонирование м вакуумное термическое проявление, о т л ичаюЕцййс я тем, что, с целью по вышеНИН качества получаемого изображения , нанесение чувствительного слоя проводят при температуре испарения 19О-200°С и при температуре подложк...

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН 2 А ае (и) SuII 6 0 С 1/68 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ @; "" н АВТОРскОму свидетельству Я 3 I Зу — — Π— — Si u t я о 1, i/ 8 — О— --- а о О ц-а--4 1 /1 г .О l О„ g- — Π— — 3/ I М . М (21) 3417958/18-21 (22) 29.03 ;82 (46) 23.11.83. Бюл. М 43 (72) Т.H....

  Винилстибинсилсесквиоксан об1цей формулы в-Й х (и , Ж- fiо l-R где (-СН«СН.1,: в качестве материала, чувствительного к действию электронного облучения, и источника диффузанта сурьмы. 2. Способ получения винилстибкнсилсесквиоксана общей формулы (Г), отличающийся тем, что, смесь винилтрихлорсилана и треххлорйстой сурьмы,взятую в молярном со .отношении 7:1-1:7, подвергают взаимодейс...

  Применение сйлатранов в качестве электррнорезиста при сухой электронолитографии . СОЮЗ G08ETCHHX ОСЦМЛВЪН РЕСПУБЛИК O% цд) G 03 F 7/26 (21) 3480748/18-21 (22) 05.08.82 ,(46) 02.03.84. Бал. В 9 (72) P.Ã. Мирсков, С. В. Васенко, В.И. Рахлин, В.П. Корчков, Т.Н. Мартынова, В.С. Данилович и М.Р. Воронков (71) Иркутский институт органической химии СО АН СССР -(53) 621 396.64-18...