Белов Н.С.

 (19)SU(11)1220516(13)A1(51)  МПК 5    H01L21/31(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ЗАЩИТНАЯ МАСКА Изобретение относится к технологии изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, в частности к групповому химическому микропрофилированию кремниевых пластин. Цель...

  Изобретение относится к технологии изготовления металлизированной разводки в интегральных схемах. Цель изобретения - упрощение способа. Способ включает формирование на пластине полупроводника функциональных элементов и выполнение в первом слое металлизации дорожек, соединяющих отдельные элементы с контактными площадками для контроля. Контактные площадки для контроля элементов одинакового...