КОЛ Пол Э. (US)

 Использование: изготовление изоляции. Сущность изобретения: способ получения пористой изоляционной композиции включает следующие стадии: получение по крайней мере одной композиции органический расходуемый материал/диэлектрик, содержащей по крайней мере один органический расходуемый материал и по крайней мере один диэлектрик, и удаление по крайней мере одного органического расходуемого мат...

 Использование: в технологии полупроводниковых приборов. Способ формирования воздушных зазоров в полупроводниковых структурах предусматривает заполнение замкнутого внутреннего объема структуры удаляемым материалом, разложение удаляемого материала на газообразные продукты распада и удаление их путем диффузии через твердый слой, прилегающий к внутреннему объему. Техническим результатом изобр...