Абрамян Г.К.

  Изобретение относится к электронной промышленности, а именно к способам получения контактов к кремниевой подложке. Цель изобретения повышение надежности контактов золото алюминий на кремниевой подложке. Напыляют в вакууме алюминиевую пленку, на поверхность алюминиевого слоя, не нарушая вакуума, напыляют слой меди толщиной формируют контактную площадку и проводят термокомпрессионную свар...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. Целью изобретения является увеличение надежности контактов. Цель достигается тем, что на контактную площадку напыляют сначала слой алюминия, а затем слой никеля толщиной 0,03 - 0,1 мкм в едином технологическом цикле. Изобретение относится к микроэлек...

 Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Целью изобретения является увеличение выхода годных и надежности приборов. Цель достигается тем, что напыляют слой алюминия, который выдерживают в вакууме 5 - 10 мин. Затем напыляют медь. Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть и...