Способ получения контакта золото-алюминий на кремниевой подложке
Патент 1611151
Авторы
Классы МПК
Способ получения контакта золото-алюминий на кремниевой подложке
Реферат
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Целью изобретения является увеличение выхода годных и надежности приборов. Цель достигается тем, что напыляют слой алюминия, который выдерживают в вакууме 5 - 10 мин. Затем напыляют медь.
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Целью изобретения является увеличение выхода годных и надежности приборов. В данном способе эта цель достигается образованием на алюминиевом слое тонкого монослоя окиси алюминия путем выдержки 5-10 мин, не нарушая вакуума, алюминиевого слоя до напыления слоя меди. Таким образом, все технологические операции изготовления контакта золото-алюминий остаются без изменения. Разница заключается лишь в том, что медь напыляется не сразу после напыления алюминия, а через 5-10 мин. За это время, хотя в камере имеется вакуум порядка 10-5-10-6 мм рт.ст. на алюминии образуется монослой окиси алюминия. Это соединение алюминия является барьером на пути диффузии меди в алюминиевый слой. С другой стороны, поскольку этот слой окиси очень тонок, он существенно не мешает термокомпрессионной сварке золотой проволоки. Следовательно, образование монослоя окиси алюминия, не снижая качество контактного соединения, повышает надежность и долговечность прибора.
Формула изобретения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТА ЗОЛОТО-АЛЮМИНИЙ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ по авт. св. N 152975, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных и надежности приборов, перед напылением меди алюминиевый слой выдерживают в течение 5 10 мин не нарушая вакуума.MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 8-2000
Извещение опубликовано: 20.03.2000