ШУКШИНА ВАЛЕНТИНА АНДРЕЕВНА

  Изобретение относится к абразивной обработке плоских поверхностей деталей из стекла, полупроводников и др. материалов и может быть использовано в оптике и микроэлектронике . Цель изобретения - повышение качества плоскостности поверхности крупногабаритных пластин жесткостью менее 400 см . Устройство для прецизионной обработки стеклянной пластины содержит нижний диск 1, на который...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для оценки плоскостности поверхности пластины . Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля за счет исключения ошибки неточности базирования контролируемой пластины и возможности определения отклонения от плоскостности всей пластины. Контроль плоскостности поверхности пластины включает...

  Использование: изобретение может быть применено при обработке подложек, используемых при изготовлении фотошаблонных заготовок. Сущность: способ включает размещение подложек на подложкодержателе в вертикальном положении с определенным интервалом, выдержку в парах воды при температуре 100-105°С и давлении (1.02-1,025)- 105Н/м2 в течение определенного времени и вертикальное...