Сергеев Владимир Павлович (RU)

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам. Проточная часть насоса включает три ступени: турбомолекулярную и две молекулярных ступени. Верхний корпус 1 закреплен на торце выступа среднего корпуса 2, концентрично его наружной поверхности. Внутренняя поверхность корпуса 1 ограничена по торцам двумя внутренними выточками 15, 16 и содержит многозаходные винтовые...

Изобретение относится к области вакуумной техники. Насос содержит корпус с входным патрубком и с двумя симметрично расположенными проточными частями относительно входного патрубка. Каждая часть состоит из турбомолекулярной, промежуточной и выходной молекулярной ступеней. Промежуточная ступень выполнена в виде двух кольцевых молекулярных ступеней, концентрично расположенных друг относительно друг...

Изобретение относится к вакуумной технике. Проточная часть турбомолекулярного вакуумного насоса включает четыре последовательно следующих одна за другой ступени: одну турбомолекулярную, одну переходную торцевую молекулярную и две, первую и вторую, концентрично расположенные напротив друг друга цилиндрические молекулярные ступени. Верхний корпус закреплен на торце внешнего фланца среднего корпус...