Былинкин Сергей Федорович (RU)

Изобретение относится к измерительной технике. Технический результат: повышение точности измерения линейных перемещений. Сущность: преобразователь содержит две полупроводниковые подложки с выполненными на них истоками и каналами, отделенным р-n переходами от подложек. На подвижном узле размещены изолированные зазорами от первой и второй подложек первый и второй металлизированные затворы. Толщина с...

Изобретение может быть использовано в технологии изготовления упругих элементов подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства окисляют плоскую пластину из монокристаллического кремния с ориентацией поверхности в плоскости (100), наносят на нее с двух сторон слой фоторезиста, предва...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных гироскопах вибрационного типа. Чувствительный элемент содержит две прямоугольные рамки: внешнюю 1 и внутреннюю 4, которые связаны жесткими перемычками 2, расположенными по осям симметрии чувствительного элемента, при этом каждая пара сторон рамок 1 и 4 соединены одной перемычкой 2. По углам внешней рамки 1 распо...

Изобретения относятся к измерительной технике и могут применяться в вибрационных кориолисовых гироскопических датчиках угловой скорости. Способ заключается в одновременном возбуждении автоколебаний первой и второй (ортогональной) моды со стабилизацией амплитуды скорости колебаний, при этом фаза возбуждающих сил при линейных колебаниях или моментов при угловых колебаниях соответствует фазе сигнала,...

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения. Чувствительный элемент содержит закрепленную на неподвижном основании опорную рамку, закрепленные на ней через упругие подвесы кольцо (подвижная масса) с одной стороны, и с другой стороны кольцо (подвижная масса). Упругие элементы...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Техническим результатом изобретения является повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент микромеханического гироскопа содержит основание, прямоугольную внутреннюю рамку, центр, соединенный четырьмя жесткими растяжками с внутренней рамкой, четыре подвижные массы, каждая из котор...

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например чувствительных элементов интегральных датчиков. Сущность изобретения: в способе изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур на кремниевой пластине создают защитный слой, формируют в нем последовательными операциями фотолитографии и травления структуру за...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах. Для измерения углового ускорения используется металлическое регулировочное кольцо, которое устанавливается на планарной инерционной массе, что позволяет увеличить порог чувствительности чувствительного элемента к угловому ускорению. 2 ил.

Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в микроэлектромеханических системах при производстве интегральных датчиков первичных параметров. Задачей, на решение которой направлено заявленное изобретение, является обеспечение стабильности размеров и зазоров в процессе соединения кремниевых пластин. Способ соединения кремниевых пластин заключается в том, что на соедин...

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в вибрационных кориолисовых гироскопических датчиках угловой скорости. Способ заключается в одновременном возбуждении автоколебаний первой и второй (ортогональной) мод, причем фаза возбуждающих сил при линейных колебаниях или моментов при угловых колебаниях соответствует фазе сигнала, пропорционального сумме скоростей колебаний в пе...