PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ПОЛАС Гари Е. (US)

Изобретатель ПОЛАС Гари Е. (US) является автором следующих патентов:

Система подачи и рециркуляционная система распределения жидкости высокой степени чистоты

Система подачи и рециркуляционная система распределения жидкости высокой степени чистоты

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводников для подвода сверхчистых жидкостей к поверхности подложки в процессах химико-механической планаризации, фотолитографии, нанесения диэлектриков. Система подачи содержит резервуар для жидкости, с впускным и выпускным отверстиями которого соединены, соответственно, первое и второе устройства регулирования потока и датчики давления. С...

2302653

Регулятор массового расхода, действующий по принципу кориолиса, выполненный из химически инертного материала (варианты)

Регулятор массового расхода, действующий по принципу кориолиса, выполненный из химически инертного материала (варианты)

Изобретение предназначено для применения, требующего подачи сверхчистой текучей среды: при изготовлении полупроводников, в фармацевтической промышленности, биотехнологии. В кожухе установлены массовый расходомер Кориолиса, пластмассовая расходомерная трубка которого выполнена из фторированных полимеров (в частности, перфторалкокси-сополимера ПФА), привод для сообщения колебаний трубке, связанные с...

2303808