ПОЛАС Гари Е. (US)

Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводников для подвода сверхчистых жидкостей к поверхности подложки в процессах химико-механической планаризации, фотолитографии, нанесения диэлектриков. Система подачи содержит резервуар для жидкости, с впускным и выпускным отверстиями которого соединены, соответственно, первое и второе устройства регулирования потока и датчики давления. С...

Изобретение предназначено для применения, требующего подачи сверхчистой текучей среды: при изготовлении полупроводников, в фармацевтической промышленности, биотехнологии. В кожухе установлены массовый расходомер Кориолиса, пластмассовая расходомерная трубка которого выполнена из фторированных полимеров (в частности, перфторалкокси-сополимера ПФА), привод для сообщения колебаний трубке, связанные с...