Оземша Михаил Михайлович (RU)

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для конструирования и изготовления тонкопленочных резисторов на диэлектрических подложках. Тонкопленочный резистор содержит прямоугольный резистивный элемент, два электрода гребенчатой формы из многослойной проводящей структуры с гребнями, расположенными навстре...

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для проектирования и изготовления тонкопленочных резисторов на диэлектрических подложках. Тонкопленочный резистор содержит диэлектрическую подложку с размещенными на ее поверхности прямоугольным пленочным резистивным элементом со ступенчатым утолщением пленки и...