ПОГОЦКИЙ ЭДУАРД ИОСИФОВИЧ

  ! ОЛИСАИКЕ ИЗОБРЕЧЕЙ ИЯ Г:5) Рл31!1(" » . л., л 4 Т)(л< г:.)лф..и, нр. (.л")уио:.:.. " щ(дка должка (>u(l(:>,: вз р:.:;;1 выше любого .;1:IIq)0(3(ICTy(la, иахо»щ гос» в зо;(е (рабо(сй) ф ) l)(i) 1(u;(n(ja, ч г(н)ы исключить неиосрсдств(!1! 1> -1 К(>!(>>(К(> . )>(Д> j)((()ОЧ 1>((И 3()1(а»(И ф01>) шаб;lоиов при конт; »((110((нс (IT!I. Отс(ода И1)СДЪЯВЛЯIОТСЯ трсб08311ИЯ Е Иолц(...

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик ()966655 (61) Дополнительное к авт. свид-ву / (22)Заявлено 26.11.80 (21) 3009007/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (53)М. Кл. 6 03 F 7/26 G 03 F 7/20 9мударстеенный квинтет СССР по деяаи изабретений и открытий (53) УДК 621.382. .002 (088.8) Опубликовано 15.10.82....

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И |(ОНТРОЛЯ КОМПЛЕКТА ФОТОШАБЛОНОВ , включающий формирование. на стеклянных подложках модулей с рабочими структурами и реперными знаками и измерение срвмещаемости фотошаблонов, о т л и ч а ю тц и и с я тем, что, с целью повышения точности комплекта фото1111аблонов путем повышения достоверности контроля, одновременно с формгфованием модулей на стеклянных подлож...