Селиванова В.А.

 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 1 10-4 - 10 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 1 10-...

 Электролит для легирования окисной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль и борную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств пленки, в его состав дополнительно введена азотная кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 0,10 - 10,00 Азотная кислота - 0,05 - 0,50 Этиленгликоль - Остальное