Электролит для легирования окисной пленки кремния бором
Патент 545210
Авторы
Классы МПК
Электролит для легирования окисной пленки кремния бором
Реферат
Электролит для легирования окисной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль и борную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств пленки, в его состав дополнительно введена азотная кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 0,10 - 10,00 Азотная кислота - 0,05 - 0,50 Этиленгликоль - Остальное