Милешко Л.П.

 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 1 10-4 - 10 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 1 10-...

 Электролит для легирования окисной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль и борную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств пленки, в его состав дополнительно введена азотная кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 0,10 - 10,00 Азотная кислота - 0,05 - 0,50 Этиленгликоль - Остальное

 Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной оксидной пленки как источника диффузии для формирования слоев p-типа в кремнии, в его состав дополнительно введена ортомышьяковая кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 5 - 15 Азо...

 Электролит для анодного оксидирования кремния, содержащий этиленгликоль и ортофосфорную кислоту, отличающийся тем, что, с целью легирования оксидной пленки кремния второй примесью - компенсатором, он дополнительно содержит ортомышьяковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 - 15 Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,...

 Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы, он дополнительно содержит азотнокислый эрбий при следующем соотношении компонентов, мас.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 10-4 - 5,0 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,4 Азотнокислый эр...

 Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств электролита, в его состав дополнительно введен гольмий азотнокислый при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 5 - 15 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,15 - 0,35 Гольмий азотнокислый (пяти...

 Электролит для легирования окисной пленки кремния мышьяком, содержащий азотную кислоту и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости результатов легирования и увеличения срока годности электролита, дополнительно он содержит ортомышьяковую кислоту, а компоненты взяты в следующем соотношении, об.%: Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 4 - 5 Ортомышьяковая кис...

 Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения, заключающийся в том, что строят анодную поляризационную кривую контролируемой структуры в электролите при заданной скорости увеличения потенциала подложки, находят пороговое напряжение, соответствующее началу линейного участка на указанной кривой, по которому определяют толщину слоя, отличающийся тем, что...