Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором
Патент 616893
Авторы
Классы МПК
Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором
Реферат
Электролит для легирования оксидной пленки кремния бором, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств электролита, в его состав дополнительно введен гольмий азотнокислый при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 5 - 15 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,15 - 0,35 Гольмий азотнокислый (пятиводный) - 0,3 - 0,6 Этиленгликоль - Остальное