Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии
Патент 599667
Авторы
Классы МПК
Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии
Реферат
Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии, содержащий этиленгликоль, борную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной оксидной пленки как источника диффузии для формирования слоев p-типа в кремнии, в его состав дополнительно введена ортомышьяковая кислота при следующем соотношении компонентов, мас.%: Борная кислота - 5 - 15 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,3 Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,001 - 0,01 Этиленгликоль - Остальное