Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
Патент 615785
Авторы
Классы МПК
Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором
Реферат
Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы, он дополнительно содержит азотнокислый эрбий при следующем соотношении компонентов, мас.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 10-4 - 5,0 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 0,1 - 0,4 Азотнокислый эрбий (пятиводный) - 0,25 - 1,0 Этиленгликоль - Остальное