Электролит для легирования оксидной пленки кремния мышьяком
Патент 682055
Авторы
Классы МПК
Электролит для легирования оксидной пленки кремния мышьяком
Реферат
Электролит для легирования окисной пленки кремния мышьяком, содержащий азотную кислоту и этиленгликоль, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости результатов легирования и увеличения срока годности электролита, дополнительно он содержит ортомышьяковую кислоту, а компоненты взяты в следующем соотношении, об.%: Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см3) - 4 - 5 Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,5 - 10 Этиленгликоль - Остальное