Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором

Реферат

Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором, содержащий ортофосфорную и азотную кислоты, отличающийся тем, что, с целью улучшения свойств легированной пленки, в его состав введен этиленгликоль в качестве основного растворителя при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см³) - 1 10^-4 - 10 Азотная кислота (уд. вес 1,40 г/см³) - 1 10^-2 - 5 10^-1 Этиленгликоль - Остальное