Электролит для анодного оксидирования кремния
Патент 602054
Авторы
Классы МПК
Электролит для анодного оксидирования кремния
Реферат
Электролит для анодного оксидирования кремния, содержащий этиленгликоль и ортофосфорную кислоту, отличающийся тем, что, с целью легирования оксидной пленки кремния второй примесью - компенсатором, он дополнительно содержит ортомышьяковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об.%: Ортофосфорная кислота (уд. вес 1,68 г/см3) - 5 - 15 Ортомышьяковая кислота (уд. вес 2,26 г/см3) - 0,01 - 0,1 Этиленгликоль - Остальное