Способ получения трифторида азота и продукты на основе трифторида азота
Изобретение относится к способу получения трифторида азота (NF3), заключающемуся в прямом взаимодействии газообразного фтора (F2) с газообразным аммиаком (NH3) в газовой фазе. Газообразный F2 вводят во взаимодействие с газообразным NH3 в газовой фазе при 80oС или при более низкой температуре в присутствии разбавляющего газа при соотношении молярных концентраций газообразного фтора и газоо...