Устройство фотометрического контроля оптической толщины пленок,напыляемых в вакууме
СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК ((()) SU (Ill >(su a в (l ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3442965/18-28 (22) 21.05 ° 82 (46) 30.09.83. Бюл. Р 36 (72) В.Д.Введенский и 3.Э.Зльгарт (53) 531.717(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР 9 353595 кл. С 23 С 13/04, G 02 В 5/28, 1973. (54) (57) УСТРОЙСТВО Ф...