Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов гибридных интегральных микросхем
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве резисторов. Цель изобретения - повышение мощности рассеивания резистора - достигается тем, что в резисторе, состоящем из резистивного элемента 1 и контактных площадок 2, нанесенных на диэлектрическую подложку 3, подгонка осуществляется путем образования вдоль кромок резистивного элемента 1 каналов 4 повыше...